"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Рекомбинационная активность границ раздела в мультикристаллическом кремнии
Пещерова С.М.1, Якимов Е.Б.2, Непомнящих А.И.1, Павлова Л.А.1, Феклисова О.В.2
1Институт геохимии им. А.П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук, Иркутск, Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 27 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Методом наведенного тока, индуцированного электронным пучком, исследована электрическая активность границ зерен в мультикристаллическом кремнии, выращенном из металлургического кремния методом Бриджмена. Выявлены основные тенденции нетипичного проявления локальной электрической активности специальными границами Sigma3 111 и Sigma9 110. Методами дифракции обратно рассеянных электронов и электронно-зондового микроанализа определены структурные особенности границ зерен после селективного травления и характер распределения примесей в мультикристаллическом кремнии.
  1. J. Chen, T. Sekiguchi, D. Yang, F. Yin, K. Kido, S. Tsurekawa. J. Appl. Phys., 96, 5490 (2004)
  2. S. Tsurekawa, K. Kido, T. Watanabe. Mater. Sci. Eng. A, 462, 61 (2007)
  3. J. Chen, T. Sekiguchi, D. Yang, F. Yin et al. J. Appl. Phys., 96, 5490 (2004)
  4. Zh. Xi, D. Yang, J. Chen, T. Sekiguchi. Mater. Sci. in Semicond. Proc., 9, 304 (2006)
  5. Е.Б. Якимов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 3, 15 (2003)
  6. E.B. Yakimov. J. Phys. Condens. Matter., 14 (48), 13 069 (2002)
  7. S.M. Peshcherova, A.I. Nepomnyashchikh, L.A. Pavlova, I.A. Eliseev, R.V. Presnyakov. Semiconductors, 48 (4), 476 (2014)
  8. B. Cunningham, H. Strunk, D.G. Ast. Appl. Phys. Lett., 40, 237 (1982)
  9. J. Chen, B. Chen, T. Sekiguchi, M. Fukuzawa, M. Yamada. Appl. Phys. Lett., 93, 105 (2008)
  10. S. Brantov, O. Feklisova, E. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 8, 1384 (2011)
  11. E.B. Yakimov, O.V. Feklisova, S.K. Brantov. Sol. St. Phenomena, 178--179, 106 (2011)
  12. J. Chen, T. Sekiguchi, D. Yang. Phys. Status Solidi C, 4, 2908 (2007)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.