Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Рекомбинационная активность границ раздела в мультикристаллическом кремнии

Пещерова С.М.¹, Якимов Е.Б.², Непомнящих А.И.¹, Павлова Л.А.¹, Феклисова О.В.²

¹Институт геохимии им. А.П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук, Иркутск, Россия Vinogradov Institute of Geochemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Irkutsk, Russia

Vinogradov Institute of Geochemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Irkutsk, Russia

²Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

Поступила в редакцию: 27 октября 2014 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Методом наведенного тока, индуцированного электронным пучком, исследована электрическая активность границ зерен в мультикристаллическом кремнии, выращенном из металлургического кремния методом Бриджмена. Выявлены основные тенденции нетипичного проявления локальной электрической активности специальными границами Sigma3 111 и Sigma9 110. Методами дифракции обратно рассеянных электронов и электронно-зондового микроанализа определены структурные особенности границ зерен после селективного травления и характер распределения примесей в мультикристаллическом кремнии.

J. Chen, T. Sekiguchi, D. Yang, F. Yin, K. Kido, S. Tsurekawa. J. Appl. Phys., 96, 5490 (2004)
S. Tsurekawa, K. Kido, T. Watanabe. Mater. Sci. Eng. A, 462, 61 (2007)
J. Chen, T. Sekiguchi, D. Yang, F. Yin et al. J. Appl. Phys., 96, 5490 (2004)
Zh. Xi, D. Yang, J. Chen, T. Sekiguchi. Mater. Sci. in Semicond. Proc., 9, 304 (2006)
Е.Б. Якимов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 3, 15 (2003)
E.B. Yakimov. J. Phys. Condens. Matter., 14 (48), 13 069 (2002)
S.M. Peshcherova, A.I. Nepomnyashchikh, L.A. Pavlova, I.A. Eliseev, R.V. Presnyakov. Semiconductors, 48 (4), 476 (2014)
B. Cunningham, H. Strunk, D.G. Ast. Appl. Phys. Lett., 40, 237 (1982)
J. Chen, B. Chen, T. Sekiguchi, M. Fukuzawa, M. Yamada. Appl. Phys. Lett., 93, 105 (2008)
S. Brantov, O. Feklisova, E. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 8, 1384 (2011)
E.B. Yakimov, O.V. Feklisova, S.K. Brantov. Sol. St. Phenomena, 178--179, 106 (2011)
J. Chen, T. Sekiguchi, D. Yang. Phys. Status Solidi C, 4, 2908 (2007)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель