"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование свойств протяженных дефектов в пластически деформированном кремнии методами EBIC и LBIC
Орлов В.И.1,2, Феклисова О.В.1, Якимов Е.Б.1,3
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 20 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Проведены сравнительные экспериментальные исследования одномерных и двумерных дефектов в пластически деформированном кремнии методами EBIC и LBIC. Показано, что контраст двумерных дефектов --- следов за дислокациями --- в методе LBIC может существенно превышать контраст в методе EBIC, что хорошо коррелирует с результатами расчетов. Основной причиной более высокой чувствительности метода LBIC является более глубокое проникновение оптического пучка в материал по сравнению с электронным пучком растрового электронного микроскопа.
  1. Е.Б. Якимов. Поверхность, N 9, 10 (2010)
  2. Я.Л. Шабельникова, Е.Б. Якимов, М.В. Григорьев, Р.Р. Фахртдинов, В.А. Бушуев. Письма ЖТФ, 38, 1 (2012)
  3. Я.Л. Шабельникова, Е.Б. Якимов. Поверхность, N 11, 27 (2012)
  4. I.E. Bondarenko, V.G. Eremenko, B.Ya. Farber, V.I. Nikitenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 68, 53 (1981)
  5. O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, N. Yarykin. Physica B, 340--342, 1005 (2003)
  6. V.G. Eremenko, E.B. Yakimov. Eur. Phys. J. Appl. Phys., 27, 349 (2004)
  7. O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, N. Yarykin, B. Pichaud. J. Phys.: Condens. Matter, 16, S201 (2004)
  8. V. Eremenko, E. Yakimov, N. Abrosimov. Phys. Status Solidi C, 4, 3100 (2007)
  9. R. Hull (ed.). Properties of Crystalline Silicon (London, INSPEC: IEE, 1999), p. 1042
  10. Я.Л. Шабельникова, Е.Б. Якимов. Поверхность, N 9, 53 (2013)
  11. T. Wilson, E.M. McCabe. J. Appl. Phys. 61, 191 (1987)
  12. V.V. Sirotkin, E.B. Yakimov. Solid State Phenomena, 78--79, ed. by H. Tokamage, T. Sekiguchi (Scitec Publ., Zuerich-Uetikon, Switzerland, 2001) p. 73
  13. В.Г. Еременко, В.И. Никитенко, Е.Б. Якимов. Письма в ЖЭТФ, 26, 72 (1977)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.