"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние меди на рекомбинационную активность протяженных дефектов в кремнии
Феклисова О.В.1, Якимов Е.Б.1,2
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 20 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Методом наведенного электронным пучком тока исследовано влияние атомов меди, введенных посредством высокотемпературной диффузии, на рекомбинационные свойства дислокаций и следов за дислокациями в монокристаллическом кремнии p-типа. Показано, что после введения меди рекомбинационная активность следов за дислокациями существенно увеличивается в отличие от дислокаций. Обнаружено появление светлого контраста вблизи следов за дислокациями после диффузии меди и закалки образцов, интенсивность которого зависит от плотности дефектов в этих следах.
  1. O.V. Kononchuk, V.V. Nikitenko, V.I. Orlov, E.B. Yakimov. Phys. Status. Solidi A, 143, K5 (1994)
  2. M. Kittler, C. Ulhaq-Bouillet, V. Higgs. Mater. Sci. Engineer., B24, 52 (1994)
  3. I.E. Bondarenko, V.G. Eremenko, B.Ya. Farber, V.I. Nikitenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 68, 53 (1981)
  4. O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, N. Yarykin. Physica B, 340--342, 1005 (2003)
  5. V.G. Eremenko, E.B. Yakimov. Eur. Phys. J. Appl. Phys., 27, 349 (2004)
  6. O.V. Feklisova, B. Pichaud, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 202, 896 (2005)
  7. O.V. Feklisova, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 6 (8), 1823 (2009)
  8. О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. Поверхность, 8, 45 (2009)
  9. О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. ФТТ, 53 (6), 1175 (2011)
  10. О.В. Феклисова, Х. Ю, Д. Янг, Е.Б. Якимов. Поверхность, N 11, 31 (2012)
  11. K. Graff. Metal impurities in silicon-device fabrication (Berlin, Springer, 1995)
  12. A. Mesli, T. Heiser. Phys. Rev. B, 45 (20), 11 632 (1992)
  13. Е.Б. Якимов. Поверхность, N 3, 15 (2003)
  14. E.B. Yakimov. J. Phys.: Condens. Matter, 14, 13 069 (2002)
  15. O.V. Feklisova, X. Yu, D. Yang, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 9 (10-11), 1942 (2012)
  16. H. Alexander, S. Dietrich, M. Huhne, M. Kolbe, G. Webe. Phys. Status Solisi A, 117 (2), 417 (1990)
  17. E. Nes, J. Washburn. J. Appl. Phys., 44, 3682 (1973)
  18. M. Seibt, K. Graff. J. Appl. Phys., 63, 4444 (1988)
  19. M. Seibt, M. Griess, A.A. Istratov, H. Hedemann, A. Sattler, W. Schroter. Phys. Status Solidi A, 166, 171 (1998)
  20. H.B. Aaron, G. R. Kotler. Metal. Trans., 2, 393 (1971)
  21. S.A. Mc Hugo. Appl. Phys. Lett., 71, 1984 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.