"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование межузельного углерода в облученном легированном медью кремнии
Ярыкин Н.A.1, Weber J.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Technische Universitat Dresden, Dresden, Germany
Поступила в редакцию: 20 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Влияние примеси меди на спектр дефектов, созданных облучением электронами с энергией 5 МэВ при комнатной температуре, изучается с помощью нестационарной спектроскопии глубоких уровней в кристаллах кремния p-типа проводимости с низкой концентрацией кислорода. Обнаружено, что межузельные атомы углерода (Ci), которые являются доминирующими дефектами в облученных образцах без меди, не выявляются сразу после облучения, если концентрация подвижной межузельной меди (Cui) превышает концентрацию введенных радиационных дефектов. Это явление связывается c формированием комплекса Cui, Ci, который не имеет уровней в нижней половине запрещенной зоны. Показано, что этот комплекс диссоциирует в процессе отжига при температурах 300-340 K, приводя к появлению межузельного углерода.
  1. S.J. Pearton, A.J. Tavendale. J. Appl. Phys., 54, 1375 (1983)
  2. K. Chen, G.-G. Qin. Mater. Sci. Forum, 10--12, 1093 (1986)
  3. B.G. Svensson, M.O. Aboelfotoh, J.L. Lindstrom. Phys. Rev. Lett., 66, 3028 (1991)
  4. M.O. Aboelfotoh, B.G. Svensson. Phys. Rev. B, 52, 2522 (1995)
  5. N. Yarykin, J. Weber. Phys. Rev. B, 83, 125 207 (2011)
  6. N. Yarykin, J. Weber. Sol. St. Phenomena, 205--206, 255 (2014)
  7. V.P. Markevich, A.R. Peaker, I.F. Medvedeva, V. Gusakov, L.I. Murin, B.G. Svensson. Sol. St. Phenomena, 131-133, 363 (2008)
  8. D. West, S.K. Estreicher, S. Knack, J. Weber. Phys. Rev. B, 68, 035 210 (2003)
  9. S.K. Estreicher. Mater. Sci. Semicond. Processing, 7, 101 (2004)
  10. Н.А. Ярыкин, J. Weber. ФТП, 44, 983 (2010)
  11. A. Mesli, T. Heiser. Phys. Rev. B, 45, 11632 (1992)
  12. J. Weber, H. Bauch, R. Sauer. Phys. Rev. B, 25, 7688 (1982)
  13. H.B. Erzgraber, K. Schmalz. J. Appl. Phys., 78, 4066 (1995)
  14. M.L.W. Thewalt, M. Steger, A. Yang, N. Stavrias, M. Cardona, H. Riemann, N.V. Abrosimov, M.F. Churbanov, A.V. Gusev, A.D. Bulanov, I.D. Kovalev, A.K. Kaliteevskii, O.N. Godisov, P. Becker, H.-J. Pohl, J.W. Ager III, E.E. Haller. Physica B, 401--402, 587 (2007)
  15. P.M. Mooney, L.J. Cheng, M. Suli, J.D. Gerson, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 15, 3836 (1977)
  16. M.T. Asom, J.L. Benton, R. Sauer, L.C. Kimerling. Appl. Phys. Lett., 51, 256 (1987)
  17. L.C. Kimerling, M.T. Asom, J.L. Benton, P.J. Drevinsky, C.E. Caefer. Mater. Sci. Forum, 38--41, 141 (1989)
  18. L. Dobaczewski, A.R. Peaker, K. Bonde Nielsen. J. Appl. Phys., 96, 4689 (2004)
  19. R.C. Newman. Mater. Sci. Eng. B, 36, 1 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.