Вышедшие номера
Импульсная модификация пленок германия на подложках кремния, сапфира и кварца: структура и оптические свойства
Новиков Г.А.1, Баталов Р.И.1, Баязитов Р.М.1, Файзрахманов И.А.1, Лядов Н.М.1, Шустов В.А.1, Галкин К.Н.2, Галкин Н.Г.2, Чернев И.М.2, Ивлев Г.Д.3, Прокопьев С.Л.3, Гайдук П.И.3
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
2Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук, Владивосток, Россия
3Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Поступила в редакцию: 6 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Изучены структурные и оптические свойства тонких пленок Ge, осажденных на полупроводниковые и изолирующие подложки и модифицированных импульсным лазерным излучением. Осаждение пленок проводилось распылением Ge-мишени пучком низкоэнергетичных ионов Xe+. Кристаллизация пленок осуществлялась наносекундными импульсами рубинового лазера (lambda=0.694 мкм) с плотностью энергии W=0.2-1.4 Дж/см2. В процессе импульсной лазерной обработки проводилось зондирование облучаемой зоны квазинепрерывным лазерным излучением (lambda=0.532 и 1.064 мкм) с регистрацией отражательной способности R(t). Проведено сравнение экспериментальных данных по времени жизни расплава Ge с расчетными, показавшее их хорошее соответствие. C использованием комплекса методов определена зависимость состава пленок, их кристалличности, уровня деформации, отражения и пропускания от режимов осаждения и отжига.