"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование нанокристаллов кремния в многослойных нанопериодических структурах Al2O3/SiOx/Al2O3/ SiOx/.../Si(100) по данным синхротронных исследований и фотолюминесценции
Турищев С.Ю.1, Терехов В.А.1, Коюда Д.А.1, Спирин Д.Е.1, Паринова Е.В.1, Нестеров Д.Н., Грачев Д.А.2, Карабанова И.А.2, Ершов А.В.2, Машин А.И.2, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 22 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.

Представлены результаты исследования методом спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения (X-ray absorption near edge structure spectroscopy technique, XANES) с использованием синхротронного излучения многослойных нанопериодических структур (МНС) Al2O3/SiOx/Al2O3/SiOx/.../Si(100), отожженных при температурах 500-1100oC. По данным XANES, обнаружена модификация структур под действием высокотемпературного (~1100oC) отжига, объясняемая формированием нанокристаллов кремния в глубинных слоях. При этом наноструктуры характеризовались интенсивной размерно-зависимой фотолюминесценцией в области энергий ~(1.4-1.52) эВ.
  1. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57 (10), 1046 (1990)
  2. R.J. Walters, G.I. Bourianoff, H.A. Atwater. Nature Materials, 4 (2), 143 146 (2005)
  3. G.F. Grom, D.J. Lockwood, J.P. McCaffrey, H.J. Labbe, P.M. Fauchet, B. White, jr, J.D. Kovalev, F. Koch, L. Tsybeskov. Nature, 407, 358 (2000)
  4. M. Zacharias, J. Heitmann, R. Scholz, U. Kahler, M. Schmidt, J. Blasing. Appl. Phys. Lett., 80, 661 (2002)
  5. А.В. Ершов, Д.И. Тетельбаум, И.А. Чугров, А.И. Машин, А.Н. Михайлов, А.В. Нежданов, А.А. Ершов, И.А. Карабанова. ФТП, 45 (6), 747 (2011)
  6. С.Ю. Турищев, В.А. Терехов, Д.А. Коюда, К.Н. Панков, А.В. Ершов, Д.А. Грачев, А.И. Машин, Э.П. Домашевская. ФТП, 47 (10), 1327 (2013)
  7. S.Yu. Turishchev, V.A. Terekhov, D.A. Koyuda, K.N. Pankov, E.P. Domashevskaya, A.V. Ershov, I.A. Chugrov, A.I. Mashin. Surf. Interface Analysis, 44 (8), 1182 (2012)
  8. А.В. Ершов, И.А. Чугров, Д.И. Тетельбаум, А.И. Машин, Д.А. Павлов, А.В. Нежданов, А.И. Бобров, Д.А. Грачев. ФТП, 47 (4), 460 (2013)
  9. M. Kasrai, W.N. Lennard, R.W. Brunner, G.M. Bancroft, J.A. Bardwell, K.H. Tan. Appl. Surf. Sci., 99 (4), 303 (1996)
  10. М.А. Румш, А.П. Лукирский, В.Н. Щемелев. Изв. АН СССР. Сер. физ., 25 (8), 1060 (1961)
  11. A. Bianconi, A. Di Cicco, N.V. Pavel, M. Benfatto, A. Marcelli, C.R. Natoli, P. Pianetta, J. Woicik. Phys. Rev. B, 36 (12), 6426 (1987)
  12. V.A. Terekhov, D.I. Tetelbaum, D.E. Spirin, K.N. Pankov, A.N. Mikhailov, A.I. Belov, A.V. Ershov, S.Yu. Turishchev. J. Synchrotron Rad., 21, 209 (2014)
  13. F.J. Himpsel, F.R. McFeely, A. Taleb-Ibrahimi, J.A. Yarmoff, G. Hollinger. Phys. Rev. B, 38, 6084 (1988)
  14. H. Rinnert, M. Vergnat, G. Marchal, A. Burneau. Appl. Phys. Lett., 72 (24), 3157 (1998)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.