"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Образование донорных центров при отжиге кремниевых светоизлучающих структур, имплантированных ионами кислорода
Соболев Н.А.1, Данилов Д.В.1,2, Александров О.В.3, Лошаченко А.С.1,2, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1, Шек Е.И.1, Трапезникова И.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-исследовательский институт физики им. В.А. Фока Санкт-Петербургского государственного университета, Санкт-Петербург, Петергоф, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 июля 2014 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.

Обнаружено, что имплантация кремния ионами кислорода и последующий отжиг при высоких температурах сопровождаются образованием электрически активных донорных центров и p-n конверсией типа проводимости кремния. Их концентрация и пространственное распределение зависят от температуры отжига. Результаты объясняются взаимодействием атомов кислорода с собственными точечными дефектами, образующимися при отжиге имплантационных нарушений.
  1. Н.А. Соболев. ФТП, 10, 23 (2010)
  2. F. Widdershoven, J.P.M. Naus. Mater. Sci. Eng., B, 4, 71 (1989)
  3. J.L. Benton, J. Michel, L.C. Kimerling. D.S. Jacobson, Y.-H. Xie, D.S. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, J.M. Poate. J. Appl. Phys., 70, 2667 (1991)
  4. F. Priolo, S. Coffa, G. Franzo, C. Spinella, A. Carnera, V. Bellani. J. Appl. Phys., 74, 4936 (1993)
  5. О.В. Александров, Н.А. Соболев, Е.И. Шек, А.В. Меркулов. ФТП, 30, 876 (1996)
  6. V.V. Emtsev, V.V. Emtsev, jr, D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev, J. Michel, L.C. Kimerling. ФТП, 33, 1192 (1999)
  7. В.В. Емцев, В.В. Емцев (мл.), Д.С. Полоскин, Н.А. Соболев, Е.И. Шек, Й. Михель, Л.С. Кимерлинг. ФТП, 33, 649 (1999)
  8. Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Е.И. Шек, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 41, 555 (2007)
  9. Н.А. Соболев, Б.Я. Бер, А.М. Емельянов, А.П. Коварский, Е.И. Шек. ФТП, 41, 295 (2007)
  10. J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. B, 268, 1818 (2010)
  11. V.V. Emtsev, jr., C.A.J. Ammerlaan, B.A. Andreev, G.A. Oganesyan, D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev. Sol. St. Phenomena, 82--84, 93 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.