"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электрооптические свойства и структурные особенности аморфного ITO
Амосова Л.П.1
1Национальный исследовательский университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.

Магнетронным напылением на холодные подложки нанесены тонкие пленки оксида индия и олова (ITO). Исследованы зависимости их структурных, электрических и оптических свойств от содержания кислорода в атмосфере напыления и скорости роста. Показано, что при температурах подложек, не превышающих температуру кристаллизации ITO, при отклонении от оптимального соотношения между давлением кислорода и скоростью роста пленки сопротивление слоев может на 6-7 порядков превосходить сопротивление проводящих аморфных слоев и достигать сотен МОм. При этом оптические свойства изолирующих слоев в видимой области спектра практически полностью идентичны свойствам проводящей аморфной модификации. Предложена концептуальная модель дефектов, ответственных за диэлектрические свойства аморфного ITO.
  1. M. Penza, S. Cozzi, M.A. Tagliente, L. Mirenghi, C. Martucci, A. Quirini. Thin Sol. Films, 349, 71 (1999)
  2. Hamid Reza Fallaha, Mohsen Ghasemia, Ali Hassanzadehb, Hadi Stekic. Physica B: Condens. Matter, 373 (2), 274 (2006)
  3. C. Coutal, A. Azema, J.-C. Roustan. Thin Sol. Films, 288, 248 (1996)
  4. L. Kerkache, A. Layadi, E. Dogheche, D. Remiens. J. Phys. D: Appl. Phys., 39, 184 (2006)
  5. K.A. Sierrosa, D.R. Cairns, J.S. Abell, S.N. Kukureka. Thin Sol. Films, 518, 2623 (2010)
  6. V. Craciun, D. Craciun, X. Wang, T.J. Anderson, R.K. Singh. J. Optoelectron. Adv. Mater., 5 (2), 401 (2003)
  7. V. Craciun, D. Craciun, Z. Chen, J. Hwang, R.K. Singh. Appl. Surf. Sci., 168, 118 (2000)
  8. F.O. Adurodija, H. Izumi, T. Ishihara, H. Yoshioka, K. Yamada, H. Matsui, M. Motoyama. Thin Sol. Films, 350, 79 (1999)
  9. Thian Kok Yong, Chen Hon Nee, Seong Shan Yap, Wee Ong Siew, Gyorgy Safran, Yoke Kin Yap, Teck Yong Tou. Proc. SPIE, 7766, 776 615 (2010)
  10. Li-Jian Meng, Jinsong Gao, M.P. dos Santos, Xiaoyi Wang, Tongtong Wang. Thin Sol. Films, 516, 1365 (2008)
  11. П.Н. Крылов, Р.М. Закирова, И.В. Федотова. ФТП, 47 (10), 142 (2013)
  12. F.O. Adurodija, H. Izumi, T. Ishihara, H. Yoshioka, M. Motoyama, K. Murai. Appl. Surf. Sci., 177, 114 (2001)
  13. А.Н. Бородин, А.С. Петров. Патент RU 2241065, C2, заявка от 20.07.2004
  14. J.P. Zheng, H.S. Kwok. Appl. Phys. Lett., 63 (1), 1 (1993)
  15. S. Schiller, K. Goedicke, J. Reschke et al. Surf. Coat. Technol., 61, 331 (1993)
  16. B. Thestrup, J. Schou, A. Nordskov, N.B. Larsen. Appl. Surf. Sci., 142, 248 (1999)
  17. C.G. Choi, K. No, W.-J. Lee, H.-G. Kim, S.O. Jung, W.J. Lee, W.S. Kim, S.J. Kim, C. Yoon. Thin Sol. Films, 258, 274 (1995)
  18. Д.А. Зуев, А.А. Лотин, О.А. Новодворский, Ф.В. Лебедев, О.Д. Храмова, И.А. Петухов, Ф.Н. Путилин, А.Н. Шатохин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов. ФТП, 46 (3), 425 (2012)
  19. E. Holmelund, B. Thestrup, J. Schou, N.B. Larsen, M.M. Nielsen, E. Johnson, S. Tougaard. Appl. Phys. A, 74, 147 (2002)
  20. O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, L. Ozyuzer. J. Phys. D: Appl. Phys., 43, 055 402 (2010)
  21. Т.Н. Крылова. Интерференционные покрытия (Л., Машиностроение, 1973) гл. 7, с. 173

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.