Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Электрооптические свойства и структурные особенности аморфного ITO
1Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 24 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.
Магнетронным напылением на холодные подложки нанесены тонкие пленки оксида индия и олова (ITO). Исследованы зависимости их структурных, электрических и оптических свойств от содержания кислорода в атмосфере напыления и скорости роста. Показано, что при температурах подложек, не превышающих температуру кристаллизации ITO, при отклонении от оптимального соотношения между давлением кислорода и скоростью роста пленки сопротивление слоев может на 6-7 порядков превосходить сопротивление проводящих аморфных слоев и достигать сотен МОм. При этом оптические свойства изолирующих слоев в видимой области спектра практически полностью идентичны свойствам проводящей аморфной модификации. Предложена концептуальная модель дефектов, ответственных за диэлектрические свойства аморфного ITO.
- M. Penza, S. Cozzi, M.A. Tagliente, L. Mirenghi, C. Martucci, A. Quirini. Thin Sol. Films, 349, 71 (1999)
- Hamid Reza Fallaha, Mohsen Ghasemia, Ali Hassanzadehb, Hadi Stekic. Physica B: Condens. Matter, 373 (2), 274 (2006)
- C. Coutal, A. Azema, J.-C. Roustan. Thin Sol. Films, 288, 248 (1996)
- L. Kerkache, A. Layadi, E. Dogheche, D. Remiens. J. Phys. D: Appl. Phys., 39, 184 (2006)
- K.A. Sierrosa, D.R. Cairns, J.S. Abell, S.N. Kukureka. Thin Sol. Films, 518, 2623 (2010)
- V. Craciun, D. Craciun, X. Wang, T.J. Anderson, R.K. Singh. J. Optoelectron. Adv. Mater., 5 (2), 401 (2003)
- V. Craciun, D. Craciun, Z. Chen, J. Hwang, R.K. Singh. Appl. Surf. Sci., 168, 118 (2000)
- F.O. Adurodija, H. Izumi, T. Ishihara, H. Yoshioka, K. Yamada, H. Matsui, M. Motoyama. Thin Sol. Films, 350, 79 (1999)
- Thian Kok Yong, Chen Hon Nee, Seong Shan Yap, Wee Ong Siew, Gyorgy Safran, Yoke Kin Yap, Teck Yong Tou. Proc. SPIE, 7766, 776 615 (2010)
- Li-Jian Meng, Jinsong Gao, M.P. dos Santos, Xiaoyi Wang, Tongtong Wang. Thin Sol. Films, 516, 1365 (2008)
- П.Н. Крылов, Р.М. Закирова, И.В. Федотова. ФТП, 47 (10), 142 (2013)
- F.O. Adurodija, H. Izumi, T. Ishihara, H. Yoshioka, M. Motoyama, K. Murai. Appl. Surf. Sci., 177, 114 (2001)
- А.Н. Бородин, А.С. Петров. Патент RU 2241065, C2, заявка от 20.07.2004
- J.P. Zheng, H.S. Kwok. Appl. Phys. Lett., 63 (1), 1 (1993)
- S. Schiller, K. Goedicke, J. Reschke et al. Surf. Coat. Technol., 61, 331 (1993)
- B. Thestrup, J. Schou, A. Nordskov, N.B. Larsen. Appl. Surf. Sci., 142, 248 (1999)
- C.G. Choi, K. No, W.-J. Lee, H.-G. Kim, S.O. Jung, W.J. Lee, W.S. Kim, S.J. Kim, C. Yoon. Thin Sol. Films, 258, 274 (1995)
- Д.А. Зуев, А.А. Лотин, О.А. Новодворский, Ф.В. Лебедев, О.Д. Храмова, И.А. Петухов, Ф.Н. Путилин, А.Н. Шатохин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов. ФТП, 46 (3), 425 (2012)
- E. Holmelund, B. Thestrup, J. Schou, N.B. Larsen, M.M. Nielsen, E. Johnson, S. Tougaard. Appl. Phys. A, 74, 147 (2002)
- O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, L. Ozyuzer. J. Phys. D: Appl. Phys., 43, 055 402 (2010)
- Т.Н. Крылова. Интерференционные покрытия (Л., Машиностроение, 1973) гл. 7, с. 173
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
