"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование кристаллической структуры наноостровков кремния на сапфире
Кривулин Н.О.1, Пирогов А.В.1, Павлов Д.А.1, Бобров А.И.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 23 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.

В работе представлены результаты исследований кристаллической структуры наноразмерных островков кремния на сапфире. Показано, что основными дефектами в наноостровках кремния на сапфире являются дефекты двойникования. В результате формирования таких дефектов в островках кремния на сапфире формируются различные кристаллографические ориентации. На начальных стадиях молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на сапфире присутствуют две основные ориентации - (001) параллельно поверхности и (001) под углом 70o к поверхности.
  1. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57 (10), 1046 (1990)
  2. Д.А. Павлов, Е.В. Коротков, П.А. Шиляев, Н.О. Кривулин. Письма ЖТФ, 36 (12), 16 (2010)
  3. Н.О. Кривулин, Д.А. Павлов, П.А. Шиляев. ФТП, 47 (12), 1621 (2013)
  4. A. Portavoce, K. Hoummada, I. Berbezier, A. Ronda, D. Mangelinck. Appl. Phys. Lett., 100, 164 105 (2012)
  5. A.I. Nikiforov, V.A. Timofeev, S.A. Teys, A.K. Gutakovsky, O.P. Pchelyakov. Thin Sol. Films, 520, 3319 (2012)
  6. Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Н.О. Кривулин и др. Вестник ННГУ им. Н.И. Лобачевского. Физика твердого тела, N 4 (1), 38 (2013)
  7. П.Д. Браун, Ю.Ю. Логинов, У.М. Стоббс, К. Дж. Хамфрейс. ФТТ, 38 (1), 284 (1996)
  8. M.S. Abrahams, V.L. Hutchison, G.R. Booker. Phys. Status Solidi A, 63 (1), K3 (1981)
  9. M.E. Twig, E.D. Richmond, J.G. Pellegrino. Appl. Phys. Lett., 54 (18), 1766 (1989)
  10. С.А. Денисов, С.П. Светлов, В.Ю. Чалков и др. Вестник ННГУ им. Н.И. Лобачевского. Физика твердого тела, 1 (9), 185 (2006)
  11. M.J. Hytch, E. Snoeck, R. Kitaas. Ultramicroscopy, 74, 131 (1998)
  12. M. Takeda, J. Suzuki. J. Opt. Soc. Am. A, 13, 1495 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.