"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Зависимость скорости роста слоя AlN от величины зазора между источником и подложкой при сублимационном методе выращивания
Вольфсон А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2014 г.

В предлагаемой работе, посвященной изучению условий роста толстых слоев и объемных кристаллов АlN в сублимационном сандвич-методе, впервые для этого материала экспериментально получены зависимости скорости роста слоя от величины зазора источник--подложка для двух значений давления азота в реакторе: 0.3 и 0.6 бар. Полученные результаты указывают на то, что основным механизмом переноса компонентов источника на подложку является диффузия. Вклад кинетических эффектов становится заметным при минимальном зазоре 0.3 мм, особенно при меньшем давлении азота, 0.3 бар.
  1. Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, M.G. Ramm, A.D. Roenkov. Kristall. Techn., 14, 729 (1979)
  2. E.N. Mokhov, O.V. Avdeev, I.S. Barash, T.Yu. Chemekova, A.D. Roenkov, A.S. Segal, A.A. Wolfson, Yu.N. Makarov, M.G. Ramm, H. Helava. J. Cryst. Growth, 281, 93 (2005)
  3. Yu.N. Makarov, O.V. Avdeev, I.S. Barash, D.S. Bazarevskiy, T.Yu. Chemekova, E.N. Mokhov, S.S. Nagalyuk, A.D. Roenkov, A.S. Segal, Yu.A. Vodakov, M.G. Ramm, S. Davis, G. Huminic, H. Helava. J. Cryst. Growth, 310, 881 (2008)
  4. S.Yu. Karpov, D.V. Zimina, Yu.N. Makarov, E.N. Mokhov, A.D. Roenkov, M.G. Ramm, Yu.A. Vodakov. Phys. Status Solidi A, 176, 435 (1999)
  5. A.S. Segal, S.Yu. Karpov, Yu.N. Makarov, E.N. Mokhov, A.D. Roenkov, M.G. Ramm, Yu.A. Vodakov. J. Cryst. Growth, 211, 68 (2000)
  6. T.K. Hossain, J.V. Lindesay, M.G. Spencer. [cond. mat. mtrl-sci] (Apr. 2002)
  7. B. Wu, R. Ma, H. Zang, M. Dudley, R. Schlesser, Z. Sitar. J. Cryst. Growth, 253, 326 (2003)
  8. S.G. Mueller, R.T. Bondokov, K.E. Morgan, G.A. Slack, S.B. Schujman, J. Grandusky, J.A. Smart, L.J. Schowalter. Phys. Status Solidi A, 206, 1153 (2009)
  9. E.N. Mokhov, A.D. Roenkov, A.S. Segal. Mater. Res. Forum, 740--742, 69 (2013)
  10. А.А. Вольфсон, Е.Н. Мохов. ФТП, 44, 1430 (2010)
  11. G.R. Yazdy, M. Sivajarvi, R. Yakimova. Phys. Scr., 126, 127 (2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.