"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Образование преципитатов beta-FeSi2 в микрокристаллическом Si
Теруков Е.И.1, Коньков О.И.1, Кудоярова В.Х.1, Гусев О.Б.1, Давыдов В.Ю.1, Мосина Г.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2002 г.

Впервые наблюдалось образование преципитатов beta-FeSi2 в пленках микрокристаллического кремния. Пленки аморфного кремния, легированные железом (a-Si<Fe>), были получены методом магнетронного распыления. Последующий кратковременный термический отжиг приводил к переходу аморфного кремния в микрокристаллический и образованию преципитатов beta-FeSi2. Показано, что синтезированные образцы излучали на длине волны lambda~1.54 мкм при 100 K.
  1. M.C. Bost, J.E. Mahan. J. Appl. Phys., 58, 2696 (1985)
  2. D. Leong, M. Harry, K.J. Reeson, K.P. Homewood. Nature, 387, 686 (1997)
  3. K. Lefki, P. Muret, N. Cherief, R.S. Cinti. J. Appl. Phys., 69, 352 (1991)
  4. B.O. Kolbesen, H. Cerva. Phys. St. Sol. (b), 222, 303 (2000)
  5. Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Е.И. Теруков, В.Х. Кудоярова, G. Waiser, H. Kuehne. ФТП, 35 (11), 1320 (2001)
  6. R.I. Batalov, R.M. Bayazitov, I.B. Khaibullin, E.I. Terukov, V.Kh. Kudoyarova. Nanotechnology, 12, 409 (2001)
  7. B.L. Sharma. Diffusion in semiconductors. Trans. Tech. Pub. Germany, 87 (1970)
  8. K. Lefki, P. Muret, E. Bustarret, N. Boutarek, R. Madar, J. Chevrier, J. Derrien, M. Brunel. Sol. St. Commun., 80, 791 (1991)
  9. A.G. Birdwell, R. Glosser, D.N. Leong, K.P. Homewood. J. Appl. Phys., 89, 965 (2001)
  10. JCPDS Powder Diffraction File. Publ. by Int. Centr for Diffraction Data (Swarthmore, USA, 1989)
  11. Н.А. Дроздов, А.А. Патрин. Письма ЖЭТФ, 23, 800 (1976). [Zh. Eksper. Teor. Fiz., Pisma, 23, 651 (1976)]

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.