"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Скрытые наноразмерные дефектные слои, сформированные в кристаллах Si и SiC высокодозной имплантацией протонов
Козлов В.А.1, Козловский В.В.2, Титков А.Н.1, Дунаевский М.С.1, Крыжановский А.К.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2002 г.

Проведено исследование скрытых наноразмерных дефектных слоев, сформированных в кристаллах Si и SiC имплантацией водорода с энергией 50 и 100 кэВ. Показана высокая чувствительность использованного метода атомно-силовой микроскопии для обнаружения начальных стадий развития водородсодержащих пор и микротрещин в подповерхностных слоях облученных кристаллов, а также для исследования процессов расслаивания кристаллов вдоль плоскости микротрещин. В результате были получены количественные критерии условий создания скрытых дефектных слоев в исследованных кристаллах, необходимые для реализации процессов блистеринга и "Smart-Cut".
  1. M. Bruel. Electron. Lett., 31, 1201 (1995)
  2. В.В. Козловский, В.А. Козлов, В.Н. Ломасов. ФТП, 34, 129 (2000)
  3. Н.Н. Герасименко. Тр. Первой Московской межд. школы физики ИТЭФ (Звенигород, УФН, 1998) с. 173
  4. А.И. Баранов. В сб.: Радиационные эффекты в полупроводниках, под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, 1979) с. 28
  5. Физические процессы в облученных полупроводниках, под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, 1977)
  6. В.Р. Галахов, И.В. Антонова, С.Н. Шамин, В.И. Аксенова, В.И. Ободников, А.К. Гутаковский, В.П. Попов. ФТП, 36, 598 (2002)
  7. П.А. Александров, Е.К. Баранова, И.В. Баранова, В.В. Бударагин, В.Л. Литвинов, В.А. Резвов, Л.И. Юдин. Тр. XI Межнац. совещ. "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, МИЭМ, 2001) с. 351
  8. Q.-Y. Tong, R.B. Bower. MRS Bulletin, December 1998, p. 40
  9. F.A. Reboredo, S.T. Pantefides. Sol. St. Phenomena, 69--70, 83 (1999)
  10. В.В. Козловский, В.А. Козлов. ФТП, 33, 1409 (1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.