Изменения свойств ионно-синтезированной гетеросистемы SixNy--Si в результате термических и ионно-лучевых обработок
Карзанов В.В.1, Марков К.А.1, Сдобняков В.В.1, Демидов Е.С.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 18 декабря 2001 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2002 г.
Методами просвечивающей электронной микроскопии, инфракрасной спектроскопии, регистрации вольт-амперных характеристик и емкостных измерений исследовалось влияние термообработки и дальнодействующее влияние облучения обратной стороны пластины Si ионами аргона, неона и кремния на состояние слоя SixNy, синтезированного на лицевой стороне. Установлено, что наиболее эффективным для формирования изолирующих слоев нитрида кремния является ионная бомбардировка аргоном с подогревом мишени до 500oC. Отсутствие заметного влияния облучения ионами неона и кремния согласуется с ранее предложенной моделью спонтанно-акустического механизма дальнодействия при облучении кремния аргоном.
- П.В. Павлов, К.А. Марков, В.В. Карзанов, Е.С. Демидов. Высокочистые вещества, N 2, 56 (1995)
- В.В. Карзанов, К.А. Марков, Д.В. Мастеров. Неорг. матер., 34 (9), 1138 (1998)
- Е.С. Демидов, В.В. Карзанов, К.А. Марков, Д.И. Курицын. Вестн. Нижегородского ун-та (сер. Физика твердого тела), вып. 2, 105 (1998)
- Е.С. Демидов, В.В. Карзанов, К.А. Марков. ФТП, 34 (2), 170 (2000)
- Е.С. Демидов, В.В. Карзанов, К.А. Марков, Д.А. Лобанов, В.В. Сдобняков. ФТП, 35 (1), 21 (2001)
- В.В. Карзанов, К.А. Марков, С.Ю. Зубков, Д.О. Филатов, Г.А. Максимов, Е.С. Демидов. Матер. Всеросс. совещ. "Зондовая микроскопия-99" (Н. Новгород, 1999) (Н. Новгород, Изд-во ИФМ РАН, 1999) с. 185
- Е.С. Демидов, В.В. Карзанов, К.А. Марков, Д.А. Лобанов. Матер. Всеросс. совещ. "Зондовая микроскопия-2000" (Н. Новгород, 2000) (Н. Новгород, Изд-во ИФМ РАН, 2000) с. 166
- Е.С. Демидов, В.В. Карзанов, К.А. Марков, В.В. Сдобняков. ЖЭТФ, 120 [3(9)], 1 (2001)
- Х. Риссел, И. Руге. Ионная имплантация (М., Наука, 1983) с. 97. [Пер. с нем.: H. Ryssel, I. Ruge. Ionenimplantation (Struttgard, 1978)]
- P.V. Pavlov, T.A. Kruze, D.I. Tetelbaum. Phys. St. Sol. (a), 36 (1), 81 (1976)
- Ю.Н. Волгин, Ю.И. Уханов. Опт. и спектр., 38 (4), 727 (1975)
- А.Б. Данилин. Электронная промышленность, N 4, 55 (1990)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.