"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Начальные стадии роста островковых алмазных пленок на кристаллическом кремнии
Феоктистов Н.А.1, Афанасьев В.В.2, Голубев В.Г.1, Грудинкин С.А.1, Кукушкин С.А.3, Мелехин В.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Левинский университет, Лаборатория физики полупроводников, Левен, Бельгия
3Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 февраля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2002 г.

Представлены результаты исследования начальных стадий роста островковых алмазных пленок, полученных методом термического газофазного осаждения (hot filament CVD) на оптически полированном кристаллическом кремнии. Методом атомно-силовой микроскопии изучена эволюция островков, образовавшихся на начальных стадиях роста пленки, в процессе их отжига. Установлено, что на начальных стадиях роста изменение плотности островков происходит за счет коалесценции близко расположенных островков. Затем, при достижении островками критического размера, начинается оствальдовское созревание островков.
  1. S. Shikata. MRS Bulletin, 23 (9), 61 (1998)
  2. X.L. Peng. Thin Sol. Films, 372, 292 (2000)
  3. C.-F. Chen, W.-H. Huang. Thin Sol. Films, 308, 85 (1997)
  4. T. Lin, K.P. Loh, A.T.S. Wee, Z.X. Shen, J. Lin, C.H. Lai, Q.J. Gao, T.J. Zhang. Diamond Relat. Matter., 9, 1703 (2000)
  5. С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсионные системы на поверхности твердых тел (СПб., Наука, 1996)
  6. H. Liu, D.S. Dandy. Diamond Relat. Mater., 4, 1173 (1995)
  7. B.R. Stoner, G.-H.M. Ma, S.D. Wolter, J.T. Glass. Phys. Rev. B, 45, 11 067 (1992)
  8. K. Komvopoulos, T. Xu. Diamond Relat. Mater., 9, 274 (2000)
  9. J.C. Angus, C.C. Hayman. Science, 241, 913 (1988)
  10. M. Tomellini, R. Polini, V. Sessa. J. Appl. Phys., 70, 7573 (1991)
  11. A.M. Bonnot, R. Schauer, B. Weidner. Diamond Relat. Mater., 7, 205 (1998)
  12. S. Yugo, K. Semoto, N. Nakamura, T. Kimura. Diamond Relat. Mater., 6, 1047 (1997)
  13. X. Jiang, K. Schiffmann, A. Westphal, C.-P. Klages. Appl. Phys. Lett., 63, 1203 (1993)
  14. R.E. Shroder, R.J. Nemanich, J.T. Glass. Phys. Rev. B, 41, 3378 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.