"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование центров нуклеации макропор в кремнии с помощью ионной имплантации
Астрова Е.В.1, Васюнькина Т.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.

Исследовалась возможность получения регулярного рисунка центров нуклеации макропор в кремнии с помощью ионной имплантации вместо использования обычных V-образных затравочных ямок. Показано, что избирательное радиационное повреждение или локальное изменение типа проводимости достаточны для зарождения макропор в одних участках и пассивации других. Полученные результаты могут быть полезны для практического применения и для лучшего понимания процесса порообразования в кремнии.
  1. V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  2. V. Lehmann. J. Electrochem. Soc., 140, 2836 (1993)
  3. U. Gruning, V. Lehmann. Appl. Phys. Lett., 68, 747 (1996)
  4. S.W. Leonard, J.P. Mondia, H.M. van Driel, O. Toader, S. John, K. Busch, A. Birner, U. Gosele, V. Lehmann. Phys. Rev. B, 61, R2389 (2000)
  5. A. Chelnokov, K. Wang, S. Rowson, P. Garoche, J.-M. Lourtioz. Appl. Phys. Lett., 77, (19), 2943 (2000)
  6. J. Schilling, F. Muller, S. Matthias, R.B. Wehrspohn, U. Gosele, K. Busch. Appl. Phys. Lett., 78, 1180 (2001)
  7. Ch. Beetz, R. Boerstler, J. Steinbeck, B. Lemieux, D. Winn. Nucl. Instr. a. Meth. in Physics Research A, 442, 443 (2000)
  8. V. Lehmann, W. Honlein, H. Reisinger, A. Spitzer, H. Wendt, J. Willer. Thin Sol. Films, 276, 138 (1996)
  9. E.V. Astrova, V.B. Voronkov, I.V. Grekhov, A.V. Naschekin, A.G. Tkachenko. Phys. St. Sol. (a), 182, 145 (2000)
  10. H. Ohji, P.J. Trench, K. Tsutsumi. Sensors and Actuators, 82, 254 (2000)
  11. R.B. Wehrspohn, J.-N. Chazalviel, F. Ozanam. J. Electrochem. Soc., 145, 2958 (1998)
  12. R.B. Wehrspohn, F. Ozanam, J.-N. Chazalviel. J. Electrochem. Soc., 146, 3309 (1999)
  13. H. Foll, J. Carstensen, M. Christophersen, G. Hasse. Phys. St. Sol. (a), 182, 7 (2000)
  14. M.H. Al Rifai, M. Christophersen, S. Ottow, J. Carstensen, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 147, 627 (2000)
  15. H. Ohji, P.J. Trench, S. Izuo, K. Tsutsumi. Sensors and Actuators, 85, 390 (2000)
  16. P. Schmuki, L.E. Erikson, D.J. Lockwood. Phys. Rev. Lett., 80, 4060 (1998)
  17. V.Y. Doan, M.Y. Sailor. Appl. Phys. Lett., 60, 619 (1992)
  18. A.J. Steckl, J. Xu, H.C. Mogul, S. Morglu. Appl. Phys. Lett., 62, 1982 (1993)
  19. J. Xu, A.J. Steckl. Appl. Phys. Lett., 65, 2081 (1994)
  20. X.-M. Bao, H.-Q. Yang. Appl. Phys. Lett., 63, 2246 (1993)
  21. S.P. Duttagupta, C. Peng, P.M. Fauchet, S.K. Kurinec, T.N. Blanton. J. Vac. Sci. Technol. B, 13, 1230 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.