Обработка поверхности кремния импульсной азотной плазмой
Баимбетов Ф.Б.1, Ибраев Б.М.1, Жукешов А.М.1
1Казахский государственный национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Республика Казахстан
Поступила в редакцию: 26 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 20 января 2002 г.
Методами инфракрасной спектроскопии и электронной микроскопии исследована структура поверхности монокристаллов кремния после плазменной обработки. Показано, что при облучении импульсной азотной плазмой в приповерхностной области формируется нитрид кремния.
- Ф.Ф. Комаров, А.П. Новиков, В.С. Соловьев, С.Ю. Ширяев. Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии (Минск, Изд-во БГУ, 1990)
- Ф.Б. Баимбетов, Б.М. Ибраев. В сб.: Ядерная и радиационная физика (Алматы, Изд-во ИЯФ НЯЦ РК, 1998) т. 2, с. 218
- Ю.Н. Волгин, Ю.И. Уханов. Опт. и спектр., 38 (4), 727 (1975)
- В.И. Бачурин, П.А. Лепшин, В.К. Смирнов, А.Б. Чурилов. Изв. РАН. Сер. физ., 62 (4), 703 (1998)
- Н.Е. Лобанова, П.А. Павлов, Д.И. Тетельбаум, Л.В. Потапова. ФТП, 23 (12), 2149 (1989)
- B.M. Ibraev, A.M. Zhukeshov. Mater. 3th Int. Conf. Plasma Physics and Plasma Technology (Minsk, Belarus, 2000) v. 2, p. 456
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук