"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Обработка поверхности кремния импульсной азотной плазмой
Баимбетов Ф.Б.1, Ибраев Б.М.1, Жукешов А.М.1
1Казахский государственный национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Республика Казахстан
Поступила в редакцию: 26 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 20 января 2002 г.

Методами инфракрасной спектроскопии и электронной микроскопии исследована структура поверхности монокристаллов кремния после плазменной обработки. Показано, что при облучении импульсной азотной плазмой в приповерхностной области формируется нитрид кремния.
  1. Ф.Ф. Комаров, А.П. Новиков, В.С. Соловьев, С.Ю. Ширяев. Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии (Минск, Изд-во БГУ, 1990)
  2. Ф.Б. Баимбетов, Б.М. Ибраев. В сб.: Ядерная и радиационная физика (Алматы, Изд-во ИЯФ НЯЦ РК, 1998) т. 2, с. 218
  3. Ю.Н. Волгин, Ю.И. Уханов. Опт. и спектр., 38 (4), 727 (1975)
  4. В.И. Бачурин, П.А. Лепшин, В.К. Смирнов, А.Б. Чурилов. Изв. РАН. Сер. физ., 62 (4), 703 (1998)
  5. Н.Е. Лобанова, П.А. Павлов, Д.И. Тетельбаум, Л.В. Потапова. ФТП, 23 (12), 2149 (1989)
  6. B.M. Ibraev, A.M. Zhukeshov. Mater. 3th Int. Conf. Plasma Physics and Plasma Technology (Minsk, Belarus, 2000) v. 2, p. 456

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.