"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Изменение концентрации центров безызлучательной рекомбинации в структурах GaAs/AlGaAs с квантовыми ямами при обработке в плазме CF4
Шамирзаев Т.С.1, Соколов А.Л.1, Журавлев К.С.1, Kobitski A.Yu.1, Wagner H.P.2, Zahn D.R.T.2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Institute fur Physik, TU Chemnitz, Chemnitz, Germany
Поступила в редакцию: 12 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2001 г.

Изучено влияние низкоэнергетической плазмы CF4 на стационарную фотолюминесценцию и кинетику фотолюминесценции структур GaAs/AlGaAs с квантовыми ямами. Установлено, что возрастание интенсивности фотолюминесценции квантовых ям, расположенных под областью индуцированных плазмой приповерхностных повреждений, сопровождается повышением времени затухания интенсивности фотолюминесценции при температурах выше 30 K. Показано, что 40-секундная экспозиция структуры в плазме приводит к 30-кратному уменьшению концентрации центров безызлучательной рекомбинации в квантовой яме, лежащей ниже области приповерхностных повреждений.
  1. S.J. Fonash. Sol. St. Technol., 28, 201 (1985)
  2. S.J. Pearton, U.K. Chakrabarti, F.A. Baiocchi. Appl. Phys. Lett., 55, 1633 (1989)
  3. W. Beinstingl, R. Christanell, J. Smoliner, C. Wirner, E. Gornik, G. Weimann, W. Schlapp. Appl. Phys. Lett., 57, 177 (1990)
  4. K.L. Seaward, N.J. Moll, W.F. Stickle. J. Electron. Mater., 19, 385 (1990)
  5. C. Juang, J.K. Hsu, I.S. Yen, H.S. Shiau. J. Appl. Phys., 72, 684 (1990)
  6. S.J. Yun, S.J. Park, M.C. Paek, J.Y. Lee. J. Electrochem. Soc., 137, 2634 (1990)
  7. K. Ohtsuka, T. Ohishi, Y. Abe, H. Sugimoto, T. Matsui. J. Appl. Phys., 70, 2361 (1991)
  8. К.С. Журавлев, В.А. Колосанов, В.Г. Плюхин, Т.С. Шамирзаев. ЖТФ, 64, 185 (1994)
  9. А.В. Мурель, А.П. Касаткин, В.М. Коган. Изв. РАН. Сер. физ., 56, 161 (1992)
  10. К.С. Журавлев, В.А. Колосанов, М. Холланд, И.И. Мароховка. ФТП, 31, 1436 (1997)
  11. F. Ren, J.W. Lee, C.R. Abernathy, C. Constantine, C. Barratt, R.J. Shul. Appl. Phys. Lett., 70, 2410 (1997)
  12. К.С. Журавлев, А.Л. Соколов, К.П. Могильников. ФТП, 32, 1450 (1998)
  13. H.F. Wong, D.L. Green, T.Y. Liu, D.G. Lishan, M. Bellis, E.L. Hu, P.M. Petroff, P.O. Holtz, J.L. Merz. J. Vac. Sci. Technol. B, 6, 1906 (1988)
  14. B.S. Ooi, A.C. Bryce, C.D.W. Wilkinson, J.H. Marsh. Appl. Phys. Lett., 64, 598 (1994)
  15. C.A. Warwick, W.Y. Jan, A. Ourmazd, T.D. Harris. Appl. Phys. Lett, 56, 2666 (1990)
  16. S. Jin, A. Li. J. Appl. Phys., 81, 7357 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.