Влияние степени структурного совершенства на спектр глубоких центров в 6H-SiC
Лебедев А.А.1, Давыдов Д.В.1, Трегубова А.С.1, Богданова Е.В.1, Щеглов М.П.1, Павленко М.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2001 г.
Проведено исследование спектров глубоких центров в слабо легированной подложке 6H-SiC, имеющей области с различным структурным совершенством. Обнаружено, что концентрации большинства глубоких центров не зависят от плотности дислокаций в данной области образца. На основании полученных результатов и литературных данных делается предположение о независимости концентрации кремниевых вакансий от степени структурного совершенства 6H-SiC.
- C.H. Carter, V.F. Tsvetkov, R.C. Glass, D. Henshall, M. Brady, St.G. Muller, O. Kordina, K. Irvine, J.A. Edmond, H.-S. Kong, R. Singh, S.T. Allen, J.W. Palmor. Mater. Sci. and Eng. B, 61--62, 1 (1999)
- C.H. Carter, Jr., R. Glass, M.Brady, D. Malta, D. Henshall, S. Muller, V. Tsvetkov, D. Hodgood, A. Powell. Abstr. Mater. Sci. Forum V, 353--356, 3 (2001)
- Q. Wahab, A. Ellison, A. Henry, E. Janzen, C. Hallin, J.Di. Perzo, R. Martinez. Appl. Phys. Lett., 76, 2725 (2000)
- Yu.M. Tairov, V.F. Tsvetkov. J. Cryst. Growth, 43, 209 (1978)
- H. Zhang, G. Pensl, A. Dorner, S. Leibenzeder. Ext. Abstr. Electrochem. Soc. Mtg. (1989) p. 714
- M.M. Anikin, A.A. Lebedev, A.L. Syrkin, A.V. Suvorov, A.M. Strel'chuk. Ext. Abstr. Electrochem. Soc. Mtg. (1989) p. 699
- М.М. Аникин, А.Н. Андреев, А.А. Лебедев, С.Н. Пятко, М.Г. Растегаева, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 25, 328 (1991)
- C.G. Hemmingsson, N.T. Son, E. Janzen. Appl. Phys. Lett., 74, 839 (1999)
- T. Dalibor, G. Pensl, H. Matsunami et al. Phys. St. Sol. A, 162, 199 (1997)
- А.И. Вейнгер, В.А. Ильин, Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков. ФТП, 15, 1557 (1981)
- А.А. Лебедев, А.И. Вейнгер, Д.В. Давыдов, В.В. Козловский, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук. ФТП, 34, 897 (2000)
- A. Kawasuso, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, P. Sperr, Th. Frank, M. Weidner, G. Pensl, H. Itoh. Abstr. Mater. Sci. Forum V, 353--356, 537 (2001)
- Н.Д. Сорокин, Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков, М.А. Чернов. Кристаллография, 28, 910 (1983)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.