"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Адсорбционно-емкостная порометрия
Тутов Е.А.1, Андрюков А.Ю.1, Бормонтов Е.Н1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 20 сентября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.

Показано, что зависимость емкости структуры Al/por-Si/Si от относительной влажности представляет собой изотерму физической адсорбции. Анализ этой зависимости позволяет определить общую пористость, эффективную долю оксидной фазы в por-Si и соотношение объемов микропор, моно- и полимолекулярная адсорбция воды в которых приводит к их объемному заполнению, а также мезопор, заполняющихся по механизму капиллярной конденсации. Для последних получено распределение пор по размерам.
  1. Т.Г. Плаченов, С.Д. Колосенцев. Порометрия (Л., Химия, 1988)
  2. П.Г. Черемской. Методы исследования пористости твердых тел (М., Энергоатомиздат, 1985)
  3. В.В. Петрова. Микропористость анодных оксидных пленок алюминия (Петрозаводск, Изд-во Петрозаводского ун-та, 1992)
  4. Properties of porous silicon. EMIS Datareviews series N 18, ed. by L. Canham (IEE, London, 1997)
  5. A.L. McClellan, H.E. Harnsberger. J. Colloid Interface Sci., 23, 577 (1967)
  6. Таблицы физических величин, под ред. И.К. Кикоина (М., Атомиздат, 1976)
  7. И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов, С.А. Завьялов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991)
  8. Л.Н. Александров, П.Л. Новиков. Письма ЖЭТФ, 65, 685 (1997)
  9. Э.Ю. Бучин, А.В. Постников, А.В. Проказников, В.Б. Световой, А.Б. Чурилов. Письма ЖТФ, 21 (1), 60 (1995)
  10. E.P. Domashevskaya, V.M. Kashkarov, E.Yu. Manukovskii, A.V. Schukarev, V.A. Terekhov. J. Electron. Spectroscopy Relat. Phen., 88--91, 958 (1998)
  11. Л.В. Беляков, Т.Л. Макарова, В.И. Сахаров. ФТП, 32, 1124 (1998)
  12. С. Зи. Физика полупроводниковых приборов, пер. с англ. под ред. Р.А. Суриса (М., Мир, 1984)
  13. Е.А. Тутов, А.Ю. Андрюков, В.М. Кашкаров. ЖПХ, 73 (7), 1071 (2000)
  14. С. Грег, К. Синг. Адсорбция, удельная поверхность, пористость (М., Мир, 1984)
  15. А.А. Ковалевский, И.Л. Баранов. Микроэлектроника, 25 (4), 298 (1996)
  16. И.О. Протодьяконов, С.В. Силаров. Механика процесса адсорбции в системах газ--твердое тело (Л., Наука, 1985)
  17. Е.А. Тутов, Э.П. Домашевская. Тез. докл. Межд. конф. "IWRERI 2000" (СПб., 2000) с. 182

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.