"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Микроструктура и физические свойства тонких пленок SnO2
Рембеза С.И.1, Свистова Т.В.1, Рембеза Е.С.2, Борсякова О.И.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 16 февраля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.

Исследовались электрические, оптические и газочувствительные свойства, а также структура и фазовый состав тонких магнетронных пленок SnO2 на подложках из стекла. Четырехзондовым методом и методом Ван-дер-Пау определено электросопротивление, концентрация и подвижность свободных носителей заряда в пленках. Из спектров собственного оптического поглощения оценена ширина запрещенной зоны и характер оптических переходов в поликристаллах. Измерена газовая чувствительность к токсичным и взрывоопасным газам. С помощью peнтгеновской дифракции и электронной микроскопии определены состав, морфология и кристаллическая структура термообработанных при 600oC пленок. В пленках только тетрагональная фаза SnO2, они хорошо кристаллизованы, средний размер зерна после термообработки составляет 11--19 нм. Рассмотрена модель электропроводности поликристаллических пленок SnO2.
  1. W. Gopel. Sensors and Actuators B, 16, 167 (1989)
  2. J. Watson, K. Ihokura, G.S.V. Coles. Mater. Sci. Techn., 4, 711 (1993)
  3. T. Hirayashi. Sensors Technol., 6, 78 (1986)
  4. G. Mc Carthy, J. Welton. Powder Diffraction, 4, 156 (1989)
  5. Р.М. Вощилова, Д.П. Димитров, Н.И. Долотов, А.Р. Кузьмин, А.В. Махин, В.А. Мошников, Ю.М. Таиров. ФТП, 29 (11), 1987 (1995)
  6. J.I. Pankove. Optical processes in semiconductors (Prentice-Hall, Inc., N.J., 1971)
  7. E.E. Kohnke. J. Phys. Chem. Sol., 23, 1557 (1962)
  8. N. Barsan. Sensors and Actuators B, 17, 241 (1997)
  9. M. Rekas, Z. Szklarski. Bull. Polish Academy Sci. Chem., 44, 155 (1996)
  10. J. Watson, K. Ihokura, G.S.V. Colest. Meas. Sci. Technol., 4, 717 (1993)
  11. C. Xu, J. Tamaki, N. Miura, N. Yamazoe. Sensors and Actuators B, 3, 147 (1991)
  12. R. Summitt. J. Appl. Phys., 39, 3762 (1968)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.