"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности поведения кислорода в кремнии, легированном оловом
Помозов Ю.В.1, Соснин М.Г.1, Хируненко Л.И.1, Яшник В.И.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 25 февраля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2000 г.

Проводится исследование влияния олова на спектры поглощения кислорода и на процессы образования низкотемпературных термодоноров (T=450oC) в кремнии. Проводится сравнение с влиянием германия и углерода. Обнаружено, что легирование кремния оловом, подобно легированию германием и углеродом, приводит к снижению эффективности образования термодоноров. Показано, что эффект подавления образования термодоноров зависит от величины упругих напряжений, создаваемых изовалентными примесями в кремнии: чем больше деформационный заряд примеси, тем при меньших концентрациях наблюдаются сравнимые эффекты.
  1. G.D. Watkins. Trans. IEEE. NS-16, 13 (1969)
  2. A.R. Bean, R.C. Newman, R.S. Smith. J. Phys. Chem. Sol., 31, 739 (1970)
  3. G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 12, 4383 (1975)
  4. В.К. Баженов, В.И. Фистуль. ФТП, 18, 1345 (1984)
  5. Е.В. Соловьева, М.Г. Мильвидский. ФТП, 17, 2022 (1983)
  6. М.Г. Соснин, Б.М. Туровский, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич. ФТП, 16, 577 (1982)
  7. G. Davies, A.S. Oates, R.C. Newman, R. Woolley, E.C. Lightowlers, M.J. Binns, J.G. Wilkes. J. Phys. C: Sol. St. Phys., 19, 841 (1986)
  8. Л.И. Хируненко, В.И. Шаховцов, В.К. Шинкаренко, Л.И. Шпинар, И.И. Ясковец. ФТП, 21, 562 (1987)
  9. A.R. Bean, R.C. Newman. J. Phys. Chem. Sol., 33, 255 (1972)
  10. Ю.М. Бабицкий, Н.И. Горбачева, П.М. Гринштейн, М.Г. Мильвидский. ФТП, 24, 1129 (1984)
  11. L.I. Khirunenko, V.I. Shakhovtsov, V.V. Shumov. Mater. Sci. Forum, 258--263, 1767 (1997)
  12. E. Hild, P. Gaworzewski, M. Franz, K. Pressel. Appl. Phys. Lett., 72, 1362 (1998)
  13. Ю.М. Бабицкий, Н.И. Горбачева, П.М. Гринштейн, М.А. Ильин, В.П. Кузнецов, М.Г. Мильвидский, Б.М. Туровский. ФТП, 22, 307 (1988)
  14. D.R. Bosomworth, N. Hayes, A.R.L. Spray, G.D. Watkins. Proc. Roy. Soc. London, 317, 133 (1970)
  15. H. Yamasda-Kaneta, C. Kaneta, T. Ogawa. Phys. Rev. B, 47, 9338 (1993)
  16. I. Khirunenko, V.I. Shakhovtsov, V.J. Shumov, V.I. Yashnik. Early Stages of Oxygen Precipitation in Silicon (Dordrecht--Boston--London: Kluwer Academic Publishers, 1996) p. 397
  17. L.I. Khirunenko, Yu.V. Pomozov, M.G. Sosnin, V.K. Shinkarenko. Physica B, 273--274, 317 (1999)
  18. Г. Герцберг. Колебательные и вращательные спектры многоатомных молекул (М., Иностр. лит., 1949) гл. 1, с. 149
  19. B. Pajot. Semiconductors and Semimetals, 42, 191 (1994)
  20. А.Н. Лазарев, И.С. Лазарев, И.С. Игнатьев, Т.Ф. Тенишева. Колебания простых молекул с Si--O связями (Л., Наука, 1991) с. 59
  21. В.Е. Кустов, М.Г. Мильвидский, Ю.Г. Семенов, Б.М. Туровский, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич. ФТП, 20, 270 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.