"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Структурные особенности и свойства пленок a-Si : H, полученных методом циклического осаждения
Афанасьев В.П.1, Гудовских А.С.1, Коньков О.И.2, Казанин М.М.2, Коугия К.В.3, Сазанов А.П.1, Трапезникова И.Н.2, Теруков Е.И.2
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургская государственная педиатрическая академия, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 ноября 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.

Исследованы пленки аморфного гидрогенизированного кремния, полученные методом циклического осаждения с использованием промежуточного отжига в водородной плазме. Пленки a-Si : H, осажденные в оптимальных режимах, обладают фоточувствительностью (отношение проводимостей при освещении и в темноте достигает значений sigmaph/sigmad~107 при освещенности 20 мВт / см2 в видимой области спектра), а значения оптической ширины запрещенной зоны (Eg) и энергии активации (Ea) составляют 1.85 и 0.91 эВ соответственно. Микроскопические исследования выявили четко выраженную слоистую структуру пленок a-Si : H и наличие нанокристаллических включений в матрице аморфной фазы.
  1. S. Okamoto, Y. Hishikawa, S. Tsuge et al. Jpn. J. Appl. Phys., 33 (4A), 1773 (1994)
  2. A. Asano. Appl. Phys. Lett., 56 (6), 533 (1990)
  3. M. Otobe, S. Oda. Jpn. J. Appl. Phys., 31 (6B), 1948 (1992)
  4. S. Koynov. Jpn. J. Appl. Phys., 33 (8), 4534 (1994)
  5. В.П. Афанасьев, А.А. Лянгузов, А.П. Сазанов. Петербург. журн. электроники, N 2, 7 (1995)
  6. R. Swanepoel. J. Phys. E: Sci. Instrum., 16, 1214 (1983)
  7. В.П. Афанасьев, А.С. Гудовских, О.И. Коньков, М.М. Казанин, К.В. Коугия, А.П. Сазанов, И.А. Трапезникова, Е.И. Теруков. Матер. X межд. симп. "Тонкие пленки в электронике", Ярославль, 20--25 сентября 1999 г. (Ярославль, Ин-т микроэлектроники РАН, 1999) с. 150
  8. А.А. Андреев, А.В. Андрианов, Б.Я. Авербух, Р. Шавлянов. ФТТ, 38(1) 19 (1996)
  9. О.А. Голикова, М.М. Казанин. ФТП, 38 (1), 110 (1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.