Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Трансформирование неупорядоченной структурной сетки пленок аморфного гидрированного кремния при легировании бором
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 28 мая 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.
Исследовано влияние технологических параметров осаждения, чистоты и относительной концентрации диборана, температуры подложки на электрофизические параметры пленок a-Si : H<B>, полученных методом высокочастотного разложения газовой смеси в многоэлектродной системе. Предполагается одновременное существование механизмов легирования и модифицирования при введении бора из диборана в процессе осаждения пленок a-Si : H<B>.
- P.G. Le Comber, W.E. Spear. J. Non-Cryst. Sol., 35--36, 327 (1980)
- О.А. Голикова, У.С. Бабаходжаев, В.В. Дубро, Р.Г. Икрамов, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, Р.Р. Яфаев. ФТП, 26, 66 (1992)
- М.М. Мездрогина, О.А. Голикова, М.М. Казанин, И.Р. Икрамов. ЖТФ, 62, 108 (1992)
- М.М. Мездрогина, А.В. Абрамов, Г.Н. Мосина, А.В. Пацекин. ФТП, 23, 555 (1998)
- А.Р. Регель, П.П. Серегин, М.М. Мездрогина, Ф.С. Насрединов, М.С. Аблова, У.Ж. Абдумаюмов. ФТП, 22, 161 (1988)
- М.М. Мездрогина, А.Ф. Бардамид, О.А. Голикова, М.М. Казанин, В.Х. Кудоярова, К.Л. Сорокина. Неорг. матер., 26, 1809 (1990)
- М.М. Мездрогина, О.А. Голикова, В.Х. Кудоярова, М.М. Казанин. Неорг. матер., 26, 455 (1990)
- А.Г. Казанский, Е.П. Милигович, Р.А. Уразбаева. ФТП, 24, 1143 (1990)
- S.C. Shen, M. Cardona. Phys Rev. B, 23, 5322 (1981)
- W.C. Price. J. Chem. Phys., 16, 894 (1948)
- I. Freund, R.S. Halford. J. Chem. Phys., 43, 3795 (1965)
- G. Lucovski. Solar Cells, 2, 431 (1980)
- W.A. Pliskin, H.S. Lehman. J. Electrochem. Soc., 112, 1013 (1965)
- Abstract MRS, San Francisco, California, April 13--17, 1998, p. 13
- Е.В. Хамакава. В кн.: Современные проблемы в полупроводниковой фотоэнергетике (М., Мир, 1988) с. 139
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
