"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние локального окружения на кинетику спада фотолюминесценции Er в аморфном гидрогенизированном кремнии
Теруков Е.И.1, Кудоярова В.Х.1, Коньков О.И.1, Константинова Е.А.2, Каменев Б.В.2, Тимошенко В.Ю.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 25 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.

Впервые проведены исследования кинетики спада фотолюминесценции примеси Er в пленках аморфного гидрогенизированного кремния (a-Si : H<Er>), полученного двумя методами: сораспылением мишеней Si и Er с применением технологии разложения силана на постоянном токе в магнитном поле (MASD) и высокочастотным разложением силана. Источником Er во втором случае служил полимерный порошок Er(TMHD)3. Показано, что пленки a-Si : H<Er>, полученные методом MASD, имеют характерные времена спада фотолюминесценции Er при комнатной температуре 10/ 15 мкс, т. е. в 20 раз меньшие, чем в кристаллическом кремнии, легированном Er, (c-Si<Er,O>) при температурах жидкого азота. Для пленок a-Si : H<Er>, полученных высокочастотным разложением силана, времена спада фотолюминесценции Er составляют 2 мкс. Отличие во временах спада кинетики фотолюминесценции связывается с различным локальным окружением атомов Er в a-Si : H<Er>, полученном разными методами.
  1. S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo, A. Polman, R. Serna. Phys. Rev. B, 49, 16 313 (1994)
  2. M.S. Bresler, O.D. Gusev, V.Kh. Kudoyarova, A.N. Kuznetsov, P.E. Pak, E.I. Terukov, I.N. Yassievich, B.P. Zakharchenya, W. Fuhs, A. Sturm. Appl. Phys. Lett., 67, 3599 (1995)
  3. W. Fuhs, I. Ulber, G. Weiser, M.S. Bresler, O.B. Gusev, A.N. Kuznetsov, V.Kh. Kudoyarova, E.I. Terukov, I.N. Yassievich. Phys. Rev. B, 56(15), 9545 (1997)
  4. F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, S. Libertino, R. Barklle, D. Carey. J. Appl. Phys. 78, 3874 (1995)
  5. M. Kechouane, N. Beldi, T. Mohammed-Brohim, H. L'Haridon, M. Salvi, M. Gauneau, P.N. Favennec. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 301, 133 (1993)
  6. V. Marakhonov, N. Rogachev, J. Ishkalov, J. Marakhonov, E.I. Terukov, V.E. Chelnokov. J. Non-Cryst. Sol., 137 \& 138, 817 (1991)
  7. Е.И. Теруков, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, О.Б. Гусев, Г. Вайзер. ФТП, 32(8), 987 (1998)
  8. Е.И. Теруков, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, О.Б. Гусев, Г. Вайзер, Х. Кюне. ФТП, 33(2), 208 (1999)
  9. В.Ф. Мастеров, Ф.С. Насрединов, П.П. Серегин, В.Х. Кудоярова, А.Н. Кузнецов, И.Е. Теруков. Письма ЖТФ, 22(12), 960 (1996)
  10. В.Х. Кудоярова, А.Н. Кузнецов, Е.И. Теруков, О.Б. Гусев, Ю.А. Кудрявцев, Б.Я. Бер, Г.М. Гусинский, W. Fuhs, G. Weiser, Y.H. Kuehne. ФТП, 32, 124 (1998).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.