"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Перераспределение эрбия при кристаллизации скрытых аморфных слоев кремния
Александров О.В.1, Николаев Ю.А.1, Соболев Н.А.1, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1, Кудрявцев Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.

Исследовалось перераспределение Er при его имплантации в кремний с дозами вблизи порога аморфизации и последующей твердофазной эпитаксиальной кристаллизации. При дозах Er 5· 1013 и 1· 1014 см-2 методом резерфордовского обратного рассеяния обнаружено образование скрытого аморфного alpha-слоя. Сегрегационное перераспределение Er в этом случае происходит навстречу с двух сторон, соответствующих верхней и нижней границам скрытого alpha-слоя, и приводит к образованию концентрационного пика в месте встречи двух фронтов кристаллизации. Предложен метод расчета координатной зависимости коэффициента сегрегации k, исходя из профилей распределения примеси эрбия до и после отжига. На зависимости k(x) обнаружен участок спада, протяженность которого увеличивается с уменьшением дозы имплантации Er. Его появление объясняется неравновесностью сегрегации в начале твердофазной эпитаксиальной кристаллизации.
  1. D. Mountonnet, H. L'Haridon, P.N. Favennec, M. Salvi, M. Gauneau, F.A. D'Avitaya, J. Chroboczek. Mater. Sci. Eng. B, 4, 75 (1989)
  2. W.P. Gillin, Z. Jingping, B.J. Sealy. Sol. St. Commun., 77, 907 (1991)
  3. J.S. Custer, A. Polman, H.M. van Pinxteren. J. Appl. Phys., 75, 2809 (1994)
  4. О.В. Александров, Ю.В. Николаев, Н.Н. Соболев. ФТП, 33, 114 (1999)
  5. О.В. Александров, Ю.В. Николаев, Н.Н. Соболев. ФТП, 32, 1420 (1998)
  6. M.A. Guerra. Sol. St. Technol., 33, 75 (1990)
  7. V.M. Gusev, M.I. Guseva, C.V. Starinin. Rad. Eff., 15, 251 (1972)
  8. Х. Риссел, И. Руге. Ионная имплантация (М., Наука, 1983)
  9. А.Ф. Вяткин. Поверхность, N 4, 5 (1991)
  10. G.L. Olson, J.A. Roth. In: Handbook of crystal growth, ed. by D.T.J. Hurle (1994) v. 3, p. 257

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.