"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Примесные центры в кремнии, легированном редкоземельными примесями диспрозием, гольмием, эрбием и иттербием
Емцев В.В.1, Емцев (мл.) В.В.1, Полоскин Д.С.1, Соболев Н.А.1, Шек Е.И.1, Михель Й.2, Кимерлинг Л.С.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Центр обработки материалов, Массачусетский технологический институт, Кэмбридж, МА, США
Поступила в редакцию: 22 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.

Приведены результаты исследования донорных центров в кремнии, выращенном по методу Чохральского и легированном редкоземельными примесями Dy, Ho, Er и Yb с помощью ионной имплантации. Обсуждаются три группы доминирующих доноров с энергией ионизации менее 0.2 эВ, образующихся в кремнии после отжига при температурах 700 и 900oC. Мелкие доноры ~ Ec-40 мэВ отнесены к термодонорам, формирующимся с участием кислорода и собственных дефектов. Две другие группы донорных состояний идентифицированы как центры, включающие в свой состав редкоземельные ионы.
  1. J.L. Benton, J. Michel, L.C. Kimerling, D.C. Jacobson, Y.H. Xie, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, J.M. Poate. J. Appl. Phys., 70, 2667 (1991)
  2. S. Libertino, S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo. J. Appl. Phys., 78, 3867 (1995)
  3. H. Przybylinska, W. Jantsch, Yu. Suprun-Belevitch, M. Stepikhova, L. Palmetshofer, G. Hendorfer, A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy. Phys. Rev. B, 54, 2532 (1996)
  4. V.V. Emtsev, V.V. Emtsev, Jr., D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev. J. Luminesc. (1999) (в печати)
  5. V.V. Emtsev, V.V. Emtsev, Jr., D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev, J. Michel, L.C. Kimerling. Appl. Phys. Lett. (1999) (в печати)
  6. J. Michel, L.J. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., 70, 2672 (1991)
  7. V.V. Emtsev, G.A. Oganesyan, K. Schmalz. Sol. St. Phenomena, ed. by H. Richter, M. Kittler, C. Claeys (Scitec Publications Ltd, Switzerland, 1996) v. 47--48, p. 259
  8. В.В. Емцев, Д.С. Полоскин, Н.А. Соболев, Е.И. Шек. ФТП, 28, 1084 (1994)
  9. F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, D. Carey. J. Appl. Phys., 78, 3874 (1995)
  10. J. Palm, F. Gan, B. Zheng, J. Michel, L.C. Kimerling. Phys. Rev. B, 54, 17 603 (1996)
  11. М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, Б.П. Захарченя, И.Н. Яссиевич. ФТТ, 38, 1474 (1996)
  12. F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Carnera. Phys. Rev. B, 57, 4443 (1998)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.