Примесные центры в кремнии, легированном редкоземельными примесями диспрозием, гольмием, эрбием и иттербием
Емцев В.В.1, Емцев (мл.) В.В.1, Полоскин Д.С.1, Соболев Н.А.1, Шек Е.И.1, Михель Й.2, Кимерлинг Л.С.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Центр обработки материалов, Массачусетский технологический институт, Кэмбридж, МА, США
Поступила в редакцию: 22 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.
Приведены результаты исследования донорных центров в кремнии, выращенном по методу Чохральского и легированном редкоземельными примесями Dy, Ho, Er и Yb с помощью ионной имплантации. Обсуждаются три группы доминирующих доноров с энергией ионизации менее 0.2 эВ, образующихся в кремнии после отжига при температурах 700 и 900oC. Мелкие доноры ~ Ec-40 мэВ отнесены к термодонорам, формирующимся с участием кислорода и собственных дефектов. Две другие группы донорных состояний идентифицированы как центры, включающие в свой состав редкоземельные ионы.
- J.L. Benton, J. Michel, L.C. Kimerling, D.C. Jacobson, Y.H. Xie, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, J.M. Poate. J. Appl. Phys., 70, 2667 (1991)
- S. Libertino, S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo. J. Appl. Phys., 78, 3867 (1995)
- H. Przybylinska, W. Jantsch, Yu. Suprun-Belevitch, M. Stepikhova, L. Palmetshofer, G. Hendorfer, A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy. Phys. Rev. B, 54, 2532 (1996)
- V.V. Emtsev, V.V. Emtsev, Jr., D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev. J. Luminesc. (1999) (в печати)
- V.V. Emtsev, V.V. Emtsev, Jr., D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev, J. Michel, L.C. Kimerling. Appl. Phys. Lett. (1999) (в печати)
- J. Michel, L.J. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., 70, 2672 (1991)
- V.V. Emtsev, G.A. Oganesyan, K. Schmalz. Sol. St. Phenomena, ed. by H. Richter, M. Kittler, C. Claeys (Scitec Publications Ltd, Switzerland, 1996) v. 47--48, p. 259
- В.В. Емцев, Д.С. Полоскин, Н.А. Соболев, Е.И. Шек. ФТП, 28, 1084 (1994)
- F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, D. Carey. J. Appl. Phys., 78, 3874 (1995)
- J. Palm, F. Gan, B. Zheng, J. Michel, L.C. Kimerling. Phys. Rev. B, 54, 17 603 (1996)
- М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, Б.П. Захарченя, И.Н. Яссиевич. ФТТ, 38, 1474 (1996)
- F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Carnera. Phys. Rev. B, 57, 4443 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
