"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние условий получения и отжига на оптические свойства аморфного кремния
Машин А.И.1, Ершов А.В.1, Хохлов Д.А.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 1 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.

Представлены спектральные характеристики показателя преломления и коэффициента экстинкции в диапазоне 0.6/2.0 эВ пленок аморфного кремния, полученных электронно-лучевым испарением при вариации температуры подложки, скорости напыления и температуры отжига на воздухе. Полученные результаты обсуждаются на основе изменений энергетической зоны Пенна в зависимости от указанных условий получения и обработки.
  1. А. Меден, М. Шо. Физика и применение аморфных полупроводников (М., Мир, 1991) с. 670. [Пер. с англ.: A. Madan, M. Shaw. The Physiсs and Applications of Amorphous Semiconductors (Boston--San Diego--N.Y.--London--Sydney--Tokyo--Toronto, Academic Press, 1988)]
  2. K. Hamada, M. Wada, H. Shimizu, M. Kume, F. Susa, T. Shibutani, N. Yoshikawa, K. Itoh, G. Kano, I. Teramoto. IEEE J. Quant. Electron., QE-21, 623 (1985)
  3. А.В. Ершов, Н.Б. Звонков, А.И. Машин, Д.А. Хохлов. В кн.: Материалы рос. конф. "Структура и свойства кристаллических и аморфных материалов" (Н. Новгород, ННГУ, 1996) с. 28
  4. А.В. Ершов, А.И. Машин, А.Ф. Хохлов. Высокочистые вещества, 2, 35 (1995)
  5. А.С. Валеев. Опт. и спектр., 15, 500 (1963)
  6. M.H. Brodsky, R.S. Title, K. Weiser, G.D. Pettit. Phys. Rev., B1, 2632 (1970)
  7. D.R. Penn. Phys. Rev., 128, 2093 (1962)
  8. Физика гидрогенизированного аморфного кремния. Вып. 2. Электронные и колебательные свойства, под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски (М., Мир, 1988) с. 447 [Пер. с англ.: The Physics of Hydrogenated Amorphous Silicon II. Electronic and Vibrational Properties, ed. by J.D. Joannopoulos and G. Lucovsky (Berlin-Heidelberg--N.Y.--Tokyo, Springer Verlag, 1984)]
  9. N.J. Shevchik, W. Paul. J. Non-Cryst. Sol., 16, 55 (1974)
  10. J.C. Philips. Phys. St. Sol. (b), 44, K1 (1971)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.