Вышедшие номера
Влияние условий получения и отжига на оптические свойства аморфного кремния
Машин А.И.1, Ершов А.В.1, Хохлов Д.А.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 1 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.

Представлены спектральные характеристики показателя преломления и коэффициента экстинкции в диапазоне 0.6/2.0 эВ пленок аморфного кремния, полученных электронно-лучевым испарением при вариации температуры подложки, скорости напыления и температуры отжига на воздухе. Полученные результаты обсуждаются на основе изменений энергетической зоны Пенна в зависимости от указанных условий получения и обработки.