"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Дефекты, ближний и средний порядок в структурной сетке аморфного гидрированного кремния
Голикова О.А.1, Кудоярова В.Х.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.

Исследовано влияние дефектов (оборванных связей Si-Si), образованных в процессе осаждения пленок a-Si : H методом тлеющего разряда, при его легировании бором а также фотоиндуцированных, на изменения ближнего и среднего порядка в структурной сетке. Показано, что при постоянной концентрации дефектов ND=const заряженные дефекты значительно сильнее влияют на структуру a-Si : H, чем нейтральные.
  1. H. Fritzsche. Sol. St. Commun., 94, 953 (1995)
  2. H.M. Branz, P.A. Fedders. MRS Symp. Proc., 338, 129 (1994)
  3. M.J. Kernan, R.L. Corey, P.A. Fedders, D.J. Leopold, R.E. Norberg, W.A. Turner, W. Paul. MRS Symp. Proc., 377, 395 (1995)
  4. C.M. Formann, R.M. Dawson, H.Y. Liu, C.R. Wronski. Appl. Phys., 76, 768 (1994)
  5. K. Shimizu, T. Shiba, T. Tabuchi, H. Okamoto. Japan. J. Appl. Phys., 36, 29 (1997)
  6. K. Shimizu, T. Tabuchi, M. Iida, H. Okamoto. Abstracts ICAMS-17 (Budapest, 1997) p. 209
  7. T. Goto, N. Masui, M. Kondo, S. Nonomura, A. Matsuda, S. Nitta. Abstracts ICAMS-17 (Budapest, 1997) p. 210
  8. О.А. Голикова, В.Х. Кудоярова. ФТП, 29, 1128 (1995)
  9. О.А. Голикова, У.С. Бабаходжаев, У.С. Дубро, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, Р.Р. Яфаев. ФТП, 24, 1190 (1990)
  10. E. Sauvain, P. Pipos, A. Shah, J. Hubin. J. Appl. Phys., 75, 1722 (1994)
  11. A.P. Sokolov, A.P. Shebanin, O.A. Golikova, M.M. Mezdrogina. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 99 (1991)
  12. A.H. Mahan, B.P. Nelson, S. Salomon, R.S. Crandall. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 657 (1991)
  13. P. Stradins, H. Fritzsche, M.Q. Tran. MRS Symp. Proc., 336, 227 (1994)
  14. О.А. Голикова. ФТП, 31, 281 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.