Вышедшие номера
Молекулярный эффект при имплантации легких ионов в полупроводники
Аброян И.А.1, Никулина Л.М.1
1Государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 26 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.

Исследовано накопление структурных дефектов в Si при имплантации одноатомных и двуатомных ионов азота в эквивалентных условиях, т. е. при одинаковых энергиях в расчете на атом, и плотностях потоков атомов. Молекулярный эффект в накоплении дефектов наблюдался лишь при таких дозах, когда степень повреждения решетки кристалла превышала 0.15. В этих условиях ион N+2 создавал такое же число устойчивых дефектов, как 6 ионов N+1. В наших экспериментах (30 кэВ для потока N+1 и 60 кэВ для N+2 при комнатной температуре) дозы аморфизации равны 3.75· 1015 и 1.25· 1015 ион/см2 для N+1 и N+2 соответственно.
  1. J.A. Davies. In: Ion Implantation and Beam Processing, ed. by J.S.Williams and J.M.Poate (Academic Press, 1984)
  2. A.I. Titov, C.E. Christodoulides, G. Carter, M.J. Nobes. Rad. Eff., 41, 109 (1979)
  3. J.A. Davies, G. Foti, L.M. Home, J.M. Mitchell, K.B. Winterbon. Phys. Rev. Lett., 34, 1441 (1975)
  4. G. Foti, G. Vitali, J.A. Davies. Rad. Eff., 32, 187 (1977)
  5. D.A. Thompson, R.S. Walker. NIM, 132, 281 (1976)
  6. D.W. Stevanovic, N.P. Tognetti, G. Carter, C.E. Christodoulides, A.M. Ibrahim, D.A. Thompson. Rad. Eff., 71, 91 (1983)
  7. И.А. Аброян, Л.М. Никулина. ФТП, 30, 1893 (1995)
  8. A. Grob, J.J. Grob, A. Golanski. NIM, B19/20, 55 (1987)
  9. Li Xiagin, Lin Chenglu, Yang Gengin, Zhou Zuyao, Zou Shichang. NIM, B55, 589 (1991)
  10. E. Kotai, N.Q. Khanh, J. Gylai. In: Ion Beam Modification of Materials, ed by J.S.Williams, R.G.Elliman and M.C.Ridgway (Academic Press, 1996) p. 823
  11. И.А. Аброян. Изв. РАН. Сер. физ., 60, N 7, 62 (1996)
  12. И.А. Аброян, А.И. Титов. В сб.: Труды 2-го Советско-американского семинара по ионной имплантации (Новосибирск, ИФП СО АН СССР, 1979) с. 335
  13. И.А. Аброян, А.И. Титов. В сб.: Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах. Материалы 7-й Международной конференции, Вильнюс, 25--28 сентября 1983 г. (Вильнюс, 1985) с. 128
  14. И.А. Аброян, Л.М. Никулина, А.И. Титов. ФТП, 19, 1030 (1985)
  15. M. Dobeli, F. Ames, R.M. Ender, M. Suter, H.A. Synal, D. Vetterli. NIM, B106, 43 (1995)
  16. А.И. Титов. Автореф. докт. дис. (Л., ЛПИ, 1989)
  17. A.I. Titov, G. Carter. NIM, B119, 491 (1996)
  18. D.A. Thompson, P.S. Walker. Rad. Eff., 37, 113 (1978)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.