"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Применение упругого рассеяния света среднего инфракрасного диапазона для исследования процесса внутреннего геттерирования в кремнии, выращенном методом Чохральского
Калинушкин В.П.1, Бузынин А.Н.1, Мурин Д.И.1, Юрьев В.А.1, Астафьев О.В.1
1Институт общей физики Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.

Методом малоуглового рассеяния света среднего инфракрасного диапазона выполнено исследование влияния процесса внутреннего геттерирования на крупномасштабные дефекты в монокристаллическом кремнии, выращенном методом Чохральского и легированном бором. Проведена классификация крупномасштабных дефектов в исходном материале и кристаллах, подвергнутых процедуре внутреннего геттерирования. Показана применимость метода малоуглового рассеяния света как для лабораторных исследований, так и для промышленного контроля операций технологического цикла внутреннего геттерирования.
  1. В.П. Калинушкин. Тр. ИОФАН (М.), 4, 3 (1986). [Proc. Inst. Gen. Phys. Acad. Sci. USSR, 4 ( Laser Methods of Defect Investifations in Semicondectors and Dielectrics) 1 (N.Y., Nova 1988)]
  2. V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev, O.V. Astafiev. Proc. 1st Int. Conf. on Materials for Microelectronics (Barselona, 1994) [Mater. Sci. Technol., in the press]
  3. Е.Н. Гулидов, В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, М.Г. Плоппа, А.М. Прохоров, М.В. Шведенко, Б.Л. Эйдельман. Микроэлектроника, 14, 130 (1985)
  4. О.В. Астафьев, А.Н. Бузынин, А.И. Бувальцев, Д.И. Мурин, В.П. Калинушкин, М.Г. Плоппа. ФТП, 28, 407 (1994)
  5. V.P. Kalinushkin, A.N. Buzynin, V.A. Yuryev, O.V. Astafiev, D.I. Murin. Inst. Phys. Conf. Ser., 149, 219 (1996)
  6. В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, Т.М. Мурина и др. Микроэлектроника, 15, 523 (1986)
  7. V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev, D.I. Murin, M.G. Ploppa. Semicond. Sci. Technol., 7, A255 (1992)
  8. В.П. Калинушкин, В.А. Юрьев, Д.И. Мурин. ФТП, 25, 798 (1991)
  9. В.В. Воронков, Г.И. Воронкова, В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, Т.М. Мурина, А.М. Прохоров. ФТП, 18, 938 (1984)
  10. С.Е. Заболотский, В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, Т.М. Мурина, М.Г. Плоппа, А.М. Прохоров. ФТП, 21, 1364 (1987)
  11. А.Н. Бузынин, Н.А. Бутылкина, А.Е. Лукьянов, В.В. Осико, В.М. Татаринцев, А.М. Эйдензон. Изв. АН СССР. Сер. физ., 52, 1387 (1988)
  12. А.Н. Бузынин, С.Е. Заболотский, В.П. Калинушкин, А.Е. Лукьянов, Т.М. Мурина, В.В. Осико, М.Г. Плоппа, В.М. Татаринцев, А.М. Эйдензон. ФТП, 24, 264 (1990)
  13. O.V. Astafiev, V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev. Mater. Sci. Eng. (B), 34, 124 (1995)
  14. О.В. Астафьев, В.П. Калинушкин, В.А. Юрьев. Микроэлектроника, 24, 472 (1995)
  15. О.В. Астафьев, В.П. Калинушкин, В.А. Юрьев. Письма ЖТФ, 21, вып. 11, 52 (1995)
  16. O.V. Astafiev, V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev. Inst. Phys. Conf. Ser., 146, 775 (1995)
  17. О.В. Астафьев, В.П. Калинушкин, В.А. Юрьев. Микроэлектроника, 25, 41 (1996)
  18. O.V. Astafiev, V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev. Inst. Phys. Conf. Ser., 149, 361 (1996)
  19. O.V. Astafiev, V.P. Kalinishkin, V.A. Yuryev, A.N. Buzynin, N.I. Bletskan. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 378, 615 (1995)
  20. V.P. Kalinushkin, D.I. Murin, V.A. Yuryev, O.V. Astafiev, A.I. Buvaltsev. Proc. 2nd Int. Symp. on Advanced Laser Technologies (Prague, 1993) [Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng., 2332, 146 (1994)]
  21. О.В. Астафьев, А.И. Бувальцев, В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, В.А. Юрьев. Поверхность, вып. 4, 79 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.