"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование пористого кремния, полученного имплантацией ионов криптона и лазерным отжигом
Галяутдинов М.Ф.1, Курбатова Н.В.1, Буйнова Э.Ю.1, Штырков Е.И.1, Бухараев А.А.1
1Казанский физико-технический институт Российской академии наук, Казань, Россия
Поступила в редакцию: 20 августа 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.

Эллипсометрическим методом исследован процесс образования мелкопористого слоя, насыщенного атомами инертного газа, в кристаллической решетке кремния, легированного большими дозами криптона, а затем облученного наносекундными лазерными импульсами. Изучено изменение комплексного показателя преломления в этом слое под действием лазерных импульсов разной мощности. С помощью сканирующего силового микроскопа прослежена трансформация пор в зависимости от плотности энергии лазерного отжига и оценены их размеры.
  • L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
  • N. Koshida, H. Koyama. Appl. Phys. Lett., 60, 347 (1992)
  • R. Tsu, H. Shen, M. Dutta. Appl. Phys. Lett., 60, 112 (1992)
  • Y.M. Weng, Zh.N. Fan, X.F. Zong. Appl. Phys. Lett., 63, 168 (1993)
  • X. Zhao, O. Schoenfeld, Y. Aoyagi, T. Sugano. Appl. Phys. Lett., 65, 1290 (1994)
  • А.В. Мельников, Ю.Н. Моисеев, Т.В. Мурзина. ЖЭТФ, 108, 669 (1995)
  • В.А. Караванский, А.Н. Образцов. ФТП, 29, 582 (1995)
  • V.M. Dubin, F. Ozaham, J.N. Chazalviev. Phys. Rev. B, 50, 14867 (1994)
  • М.Ф. Галяутдинов, Э.Ю. Карась, Н.В. Курбатова, Е.И. Штырков. Оптика и спектроскопия, 73, 344 (1992)
  • В.И. Пшеницын, М.И. Абаев, И.Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях (Л., 1986)
  • L. Frank, F.L. McCrackin A Fortran Program for Analysis of Ellipsometer Measurements (NBS Technical Note 479, April 1969)
  • Л.Ф. Бахтурова, В.В. Баковец, И.П. Домовесова, Б.М. Аюпов. ФТП, 27, 588 (1993)
  • Г.Г. Закиров, Е.А. Никитина. Тез. докл. Всес. конф. "Ионно-лучевая модификация материалов" (Каунас, 1989) с. 189
  • C. Jech, R. Kelly. J. Phys. Chem. Sol., 30, 465 (1969)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.