"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование пористого кремния, полученного имплантацией ионов криптона и лазерным отжигом
Галяутдинов М.Ф.1, Курбатова Н.В.1, Буйнова Э.Ю.1, Штырков Е.И.1, Бухараев А.А.1
1Казанский физико-технический институт Российской академии наук, Казань, Россия
Поступила в редакцию: 20 августа 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.

Эллипсометрическим методом исследован процесс образования мелкопористого слоя, насыщенного атомами инертного газа, в кристаллической решетке кремния, легированного большими дозами криптона, а затем облученного наносекундными лазерными импульсами. Изучено изменение комплексного показателя преломления в этом слое под действием лазерных импульсов разной мощности. С помощью сканирующего силового микроскопа прослежена трансформация пор в зависимости от плотности энергии лазерного отжига и оценены их размеры.
  1. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
  2. N. Koshida, H. Koyama. Appl. Phys. Lett., 60, 347 (1992)
  3. R. Tsu, H. Shen, M. Dutta. Appl. Phys. Lett., 60, 112 (1992)
  4. Y.M. Weng, Zh.N. Fan, X.F. Zong. Appl. Phys. Lett., 63, 168 (1993)
  5. X. Zhao, O. Schoenfeld, Y. Aoyagi, T. Sugano. Appl. Phys. Lett., 65, 1290 (1994)
  6. А.В. Мельников, Ю.Н. Моисеев, Т.В. Мурзина. ЖЭТФ, 108, 669 (1995)
  7. В.А. Караванский, А.Н. Образцов. ФТП, 29, 582 (1995)
  8. V.M. Dubin, F. Ozaham, J.N. Chazalviev. Phys. Rev. B, 50, 14867 (1994)
  9. М.Ф. Галяутдинов, Э.Ю. Карась, Н.В. Курбатова, Е.И. Штырков. Оптика и спектроскопия, 73, 344 (1992)
  10. В.И. Пшеницын, М.И. Абаев, И.Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях (Л., 1986)
  11. L. Frank, F.L. McCrackin A Fortran Program for Analysis of Ellipsometer Measurements (NBS Technical Note 479, April 1969)
  12. Л.Ф. Бахтурова, В.В. Баковец, И.П. Домовесова, Б.М. Аюпов. ФТП, 27, 588 (1993)
  13. Г.Г. Закиров, Е.А. Никитина. Тез. докл. Всес. конф. "Ионно-лучевая модификация материалов" (Каунас, 1989) с. 189
  14. C. Jech, R. Kelly. J. Phys. Chem. Sol., 30, 465 (1969)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.