"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пористого кремния, подвергнутого анодному окислению и травлению
Филиппов В.В.1, Бондаренко В.П.2, Першукевич П.П.1
1Институт физики Академии наук Белоруссии, Минск, Белоруссия
2Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 18 января 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.

Исследованы спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пленок пористого кремния исходной пористости 50--60%, приготовленных на монокристаллах кремния p-типа проводимости и подвергнутых анодному окислению и химическому травлению. Установлено, что присутствующая в травленном пористом кремнии аморфная фаза не проявляется в спектрах фотовозбуждения, но оказывает влияние на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Показано, что особенности спектров фотовозбуждения до и после травления, а также эволюция спектров фотолюминесценции и фотовозбуждения после травления могут быть интерпретированы в рамках модели равномерного квантования, в которой учитываются упругие напряжения в кремниевых кристаллах пористого кремния.
  1. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
  2. R. Kumar, Y. Kitochi, K. Hara. Appl. Phys. Lett., 63, 3032 (1993)
  3. J.M. Lavine, S. Sawan, Y.T. Shieh, A.J. Balezza. Appl. Phys. Lett., 62, 1099 (1993)
  4. K.H. Jung, S. Shin, D.L. Kwong, C.C. Cho, B.E. Gnade. Appl. Phys. Lett., 61, 2467 (1992)
  5. S.M. Prokes, W.E. Carlos, P.M. Bermudez. Appl. Phys. Lett., 61, 1447 (1992)
  6. Y.M. Weng, Zn.M. Fan, X.F. Zong. Appl. Phys. Lett., 63, 168 (1993)
  7. S. Shih, K.H. Jung, D.L. Kwong, M. Kovar, J.M. White. Appl. Phys. Lett., 62, 1904 (1993)
  8. J. Vial, F. Bsiesy, F. Gaspard, R. Herino, M. Ligeon, F. Muller, R. Romestain, R. Macfarlane. Phys. Rev. B, 45, 14171 (1992)
  9. M.B. Robinson, A.C. Dillon, S.M. George. Appl. Phys. Lett., 62, 1493 (1993)
  10. V.V. Filippov, P.P. Pershukevich, V.P. Bondarenko, A.M. Dorofeev. Phys. St. Sol. (b), 184, 573 (1994)
  11. Y.G. Chabal, G.S. Higashi, N. Raghavachari, V.A. Burrows. J. Vac. Sci. Techn. A, 7, 2104 (1989)
  12. W.B. Pollard, G. Lucowski. Phys. Rev. B, 26, 3172 (1982)
  13. M.H. Bordski, M. Cardona, J.J. Cuomo. Phys. Rev. B, 26, 3356 (1977)
  14. Y. Ogata, H. Niki, T. Sakka, M. Iwasaki. J. Electrochem. Soc., 42, 195 (1995)
  15. M.S. Brandt, H.D. Fuchs, M. Stutzmann, J. Weber, M. Cardona. Sol. St. Commun., 81, 307 (1992)
  16. A. Nakajima, T. Itakura, S. Watanable, N. Nakayama. Appl. Phys. Lett., 61, 46 (1992)
  17. T. Motohiro, T. Kachi, F. Miura, Y. Takeda, S. Hyodo, S. Noda. Jpn. J. Appl. Phys., 31, L207 (1992)
  18. N. Ookubo. J. Appl. Phys., 74, 6375 (1993)
  19. Y.H. Xie, W.L. Wilson, F.M. Ross, J.A. Mucha, E.A. Fitzgerald. J. Appl. Phys., 71, 2403 (1992)
  20. J. Shah, A. Pinczuk, F.B. Alexander, B.G. Bagley. Sol. St. Commun., 42, 717 (1982)
  21. D.E. Aspnes, A.A. Studnia. Phys. Rev. B, 27, 985 (1983)
  22. N. Koshida, H. Koyama, Y. Yamamoto, G.J. Collins. Appl. Phys. Lett., 63, 2655 (1993)
  23. G.D. Sanders, Y.C. Chang. Phys. Rev. B, 45, 9202 (1002)
  24. F. Buda, J. Kohanoff, M. Parrinello. Phys. Rev. Lett., 69, 1272 (1992).
  25. Л.П. Авакянц, В.М. Авдохина, Г.Б. Демидович и др. Поверхность, вып. 5, 94 (1989)
  26. А.Н. Старухин, А.А. Лебедев, Б.С. Разбирин, Л.М. Капитонова. Письма ЖТФ, 18, 160 (1992)
  27. G. Renand, P. Fuoss, A. Ourmazd, J. Bevk, B. Freer, P. Hahn. Appl. Phys. Lett., 58, 1272 (1991)
  28. T. Konishi, K. Uesugi, K. Takoka, S. Kawano, M. Yoshimuta, T. Yao. Jpn. J. Appl. Phys., 32, 3131 (1993)
  29. N. Noduchi, I. Suemune, M. Yamanishi. Jpn. J. Appl. Phys., 31, L490 (1992)
  30. F. Koch. Microelectronic Engeneering, 28, 237 (1995)
  31. T. George, M.S. Anderson, W.T. Pike, T.L. Lin, R.W. Fathaner, K. Jung, D.L. Kwong. Appl. Phys. Lett., 60, 2354 (1992)
  32. J.P. Perez, J.V. Malobes, P. McNeill, J. Prosad, R. Cheek, J. Kelber, J.P. Estrera, P.D. Stevens, R. Glosser. Appl. Phys. Lett., 61, 563 (1992)
  33. D.T. Pierce, W.E. Spicer. Phys. Rev. B, 5, 3017 (1972)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.