"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности структуры пленок аморфного гидрированного кремния, осажденных методом разложения силана на постоянном токе в магнитном поле
Голикова О.А.1, Кузнецов А.Н.1, Кудоярова В.Х.1, Казанин М.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.

Приводятся данные о содержании водорода и различных формах его связи с кремнием в пленках a-Si : H, осажденных методом разложения силана на постоянном токе в магнитном поле (MASD), в зависимости от условий осаждения: температуры, давления смеси 25% SiH4+75% Ar, скорости прокачки, введения в разрядную камеру сетки. Установлены корреляции между величиной фотопроводимости и особенностями структуры пленок.
  1. О.А. Голикова, А.Н, Кузнецов, В.Х. Кудоярова, М.М. Казанин. ФТП, 30, 1879 (1996)
  2. G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3661 (1993)
  3. P. Morin, Roca i Cabarrocas. MRS Proc., 336, 281 (1994)
  4. О.А. Голикова, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, Е.И. Теруков. ФТП, 30, 405 (1996)
  5. A.H. Mahan, J. Carapella, B.P. Nelson, R.S. Crandall. J. Appl. Phys., 69, 6728 (1991)
  6. U. Kroll, J. Meier, M. Goetz, A. Howling, J.-L. Dorier, J. Dutla, A. Shah, Ch. Hllenstein. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 59 (1993)
  7. N.M. Johnson, P.V. Santos, C.E. Nebel, W.B. Jackson, R.A. Street, K.S. Stevens, J. Walker. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 235 (1991)
  8. D. Caputo, G. de Cesare, F. Irrera, F. Palma, M.C. Rossi, G. Conte, G. Nolile, G. Fameli. J. Non-Cryst. Sol., 170, 278 (1994)
  9. N. Beldi. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 309 (1993)
  10. W. Fuhs (private communication)
  11. О.А. Голикова, В.Х. Кудоярова. ФТП, 29, 1128 (1995)
  12. K. Pierz, W. Fuhs, H. Mell. Phil. Mag., B, 63, 123 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.