"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности комбинационного рассеяния света в кремнии, легированном большими дозами криптона
Галяутдинов М.Ф.1, Курбатова Н.В.1, Моисеев С.А.1, Штырков Е.И.1
1Казанский физико-технический институт при Казанском научном центре Российской академии наук, Казань, Россия
Поступила в редакцию: 30 августа 1996 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.

Экспериментально обнаружен высокочастотный сдвиг 20 см-1 в спектре комбинационного рассеяния света кремния, имплантированного ионами криптона. На основе данных комбинационного рассеяния света, полученных при различных режимах имплантации Kr+ и лазерного отжига, исследована динамика трансформации микроскопической структуры приповерхностного слоя кремния. Полученные экспериментальные данные хорошо объясняются наличием локальных механических напряжений (~40 кбар), связанных с присутствием тяжелых инертных атомов Kr в узлах решетки.
  1. V.D. Tkachev, A.V. Mudryi, N.S. Minaev. Phys. St. Sol. (a), 81, 313 (1984)
  2. C. Jech, R. Kelly. J. Phys. Chem. Sol., 30, 465 (1969)
  3. А.Д. Лозовский, А.М. Панеш. Изв. АН, сер. физ., 58, N 5, 209 (1994)
  4. М.Ф. Галяутдинов, Э.Ю. Карась, Н.В. Курбатова, Е.И. Штырков. Опт. и спектр., 73, 344 (1992)
  5. А.В. Андрианов, Л.В. Беляков, Д.Н. Горячев, Д.И. Ковалев, О.М. Сресели, И.Д. Ярошецкий, Б.Я. Авербух. ФТП, 28, 2202 (1994)
  6. Л.П. Авакянц, Г.Д. Ивлев, Е.Д. Образцова. ФТТ, 34, 3334 (1992)
  7. А. Марадудин. Дефекты и колебательный спектр кристаллов (М., Мир, 1968) [A.A. Maradudin. Theoretical and experimental aspects of the effects of point defects and disorder on the vibrations of crystalls (Academic Press Inc., N.Y.--London, 1966)]
  8. В.С. Горелик, Р.Н. Хашимов, М.М. Сушинский. Поверхность. Физика, химия, механика, 6, 77 (1985)
  9. M. Chandrasekhar, H.R. Chandrasekhar, M. Grimsdich, M. Cardona. Phys. Rev. B, 22, 4825 (1980)
  10. В. Вейнстейн, Р. Заллен. В кн.: Рассеяние света в твердых телах, под ред. М. Кардоны и Г. Гюнтеродта (М., Мир, 1986) вып. 4. [ Light Scattering in Solids IV, ed. by M. Cardona and G. Gunterodt (Springer Verlag, Berlin--Heidelberg--N.Y.--Tokyo, 1984)]
  11. Л.Н. Александров. Письма ЖТФ, 11, N 5, 286 (1985)
  12. М.Ф. Галяутдинов, Н.В. Курбатова, Э.Ю. Буйнова и др. Тез. докл. конф. "Структура и свойства кристаллических и аморфных материалов" (Н. Новгород, 1996) с. 86
  13. Guo-Quan, E. Nugren, M.J. Aziz. J. Appl. Phys., 70, 5323 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.