Особенности комбинационного рассеяния света в кремнии, легированном большими дозами криптона
Галяутдинов М.Ф.1, Курбатова Н.В.1, Моисеев С.А.1, Штырков Е.И.1
1Казанский физико-технический институт при Казанском научном центре Российской академии наук, Казань, Россия
Поступила в редакцию: 30 августа 1996 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.
Экспериментально обнаружен высокочастотный сдвиг 20 см-1 в спектре комбинационного рассеяния света кремния, имплантированного ионами криптона. На основе данных комбинационного рассеяния света, полученных при различных режимах имплантации Kr+ и лазерного отжига, исследована динамика трансформации микроскопической структуры приповерхностного слоя кремния. Полученные экспериментальные данные хорошо объясняются наличием локальных механических напряжений (~40 кбар), связанных с присутствием тяжелых инертных атомов Kr в узлах решетки.
- V.D. Tkachev, A.V. Mudryi, N.S. Minaev. Phys. St. Sol. (a), 81, 313 (1984)
- C. Jech, R. Kelly. J. Phys. Chem. Sol., 30, 465 (1969)
- А.Д. Лозовский, А.М. Панеш. Изв. АН, сер. физ., 58, N 5, 209 (1994)
- М.Ф. Галяутдинов, Э.Ю. Карась, Н.В. Курбатова, Е.И. Штырков. Опт. и спектр., 73, 344 (1992)
- А.В. Андрианов, Л.В. Беляков, Д.Н. Горячев, Д.И. Ковалев, О.М. Сресели, И.Д. Ярошецкий, Б.Я. Авербух. ФТП, 28, 2202 (1994)
- Л.П. Авакянц, Г.Д. Ивлев, Е.Д. Образцова. ФТТ, 34, 3334 (1992)
- А. Марадудин. Дефекты и колебательный спектр кристаллов (М., Мир, 1968) [A.A. Maradudin. Theoretical and experimental aspects of the effects of point defects and disorder on the vibrations of crystalls (Academic Press Inc., N.Y.--London, 1966)]
- В.С. Горелик, Р.Н. Хашимов, М.М. Сушинский. Поверхность. Физика, химия, механика, 6, 77 (1985)
- M. Chandrasekhar, H.R. Chandrasekhar, M. Grimsdich, M. Cardona. Phys. Rev. B, 22, 4825 (1980)
- В. Вейнстейн, Р. Заллен. В кн.: Рассеяние света в твердых телах, под ред. М. Кардоны и Г. Гюнтеродта (М., Мир, 1986) вып. 4. [ Light Scattering in Solids IV, ed. by M. Cardona and G. Gunterodt (Springer Verlag, Berlin--Heidelberg--N.Y.--Tokyo, 1984)]
- Л.Н. Александров. Письма ЖТФ, 11, N 5, 286 (1985)
- М.Ф. Галяутдинов, Н.В. Курбатова, Э.Ю. Буйнова и др. Тез. докл. конф. "Структура и свойства кристаллических и аморфных материалов" (Н. Новгород, 1996) с. 86
- Guo-Quan, E. Nugren, M.J. Aziz. J. Appl. Phys., 70, 5323 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук