Моделирование тепло- и массопереноса в процессе роста монокристаллов карбида кремния
Кириллов Б.А.1, Бакин А.С.1, Солнышкин С.Н.1, Таиров Ю.М.1
1Кафедра микроэлектроники
Поступила в редакцию: 7 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.
В последнее время резко возрос интерес к карбиду кремния как полупроводнику, пригодному для изготовления приборов, работающих в экстремальных условиях. Основная задача в настоящее время состоит в массовом получении монокристаллов карбида кремния с низкой концентрацией дефектов и высокой однородностью свойств по сечению. Данная работа посвящена численному моделированию процессов тепло- и массопереноса при выращивании монокристаллов SiC сублимационным методом. Полученные результаты позволяют проследить влияние условий роста на распределение температуры и основных компонентов в паровой фазе, а также радиальный профиль скорости роста монокристалла для различных стадий процесса выращивания.
- Yu.M. Tairov, V.F. Tsvetkov. J. Cryst. Growth, 52, 146 (1981)
- Yu.M. Tairov, V.F. Tsvetkov. In: Crystal Growth and Characterization of Polytype Structures, ed. by P. Krishna (Oxford--N.Y.--Toronto--Sydney--Paris--Frankfurt, Pergamon Press, 1983) v. 7. p. 111
- Yu.M. Tairov, V.F. Tsvetkov. In: Growth and Defect Structures (в сер.: Crystals. Growth, Properties, and Applications) ed. by H.C. Freyhardt (Berlin--Heidelberg--N.Y.--Tokio, Springer Verlag, 1984). v. 10. p. 1
- D. Hofmann, M. Heinze, A. Winnacker, F. Durst, L. Kadinski et al. J. Cryst. Growth, 146, 214 (1995)
- Ф. Райхель, Ю.М. Таиров, М.Г. Траваджян, В.Ф. Цветков. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 16, 1011 (1980)
- J. Drowart, G. De Maria. Silicon Carbige --- a High Temperature Semiconductor (N.Y., Pergamon Press, 1960) p. 16.
- Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 13, 1606 (1976)
- Б.П. Герасимов, А.В. Лесуновский, В.В. Митин, Т.А. Борисова, Д.Я. Ровенский. В. сб.: Численные методы, под ред. А.А. Самарского (М., Наука, 1989) с. 112
- Ю.М. Таиров, В.А. Таранец, В.Ф. Цветков. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 15, 9 (1979)
- S.K. Lilov, Yu.M. Tairov, V.F. Tsvetkov. J. Cryst. Growth, 46, 269 (1979)
- Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Теоретическая физика. Гидродинамика (М., Наука, 1988) т. VI
- Gas Encyclopaedia (Elsevier, 1976)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук