Аномальное распределение атомов железа при одновременной имплантации ионов Co+ и Fe+ в кремний
Гумаров Г.Г.1, Петухов В.Ю.1, Жихарев В.А.1, Шустов В.А.1, Хайбуллин И.Б.1
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
Поступила в редакцию: 13 марта 1996 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1997 г.
Обнаружено аномальное двугорбое распределение атомов Fe по глубине при одновременной имплантации ионов Fe+ и Co+ в Si при невысоких плотностях ионного тока (j=< 10 мкА/см2) и соотношении ионов железа и кобальта в пучке 1 : 3. Образование такого профиля происходит при условии, что время диффузии атомов железа к стокам (поверхности и области линейных дефектов в глубине образца) становится меньше эффективного времени силицидообразования.
- E. Wieser, D. Panknin, W. Skorupa, G. Querner, W. Henrion, J. Albrecht. Nucl. Instr. Meth. B, 80/81, 867 (1993)
- В.Ю. Петухов, И.Б. Хайбуллин, Г.Г. Гумаров. Тез. докл. I Рос. конф. по физике полупроводников (Н. Новгород, 1993) т. 2, с. 353
- Г.Г. Гумаров, В.Ю. Петухов, В.А. Шустов, И.Б. Хайбуллин. Высокочистые вещества, N 2, 95 (1995).
- V.Yu. Petukhov, I.B. Khaibullin, M.M. Zaripov, R. Groetzschel, H. Voelskow, R. Klabes. Phys. St. Sol. (a), 96, 463 (1986)
- K. Radermacher, S. Mantl, Ch. Dieker, H. Holzbrecher, W. Speier, H. Luth. Proc. MRS (1992) v. 235, p. 273
- M.F. Wu, J. De Wachter, P. Hendrickx, A.-M. Van Bavel, H. Pattyn, G. Langouche, J. Vanhellemont, H. Bender, M. Maenhoudt, Y. Bruyseraede. Appl. Phys. Lett., 63, 542 (1993).
- В.Л. Винецкий, Г.А. Холодарь. Радиационная физика полупроводников (Киев, Наук. думка, 1979)
- В.М. Глазов, В.С. Земсков. Физико-химические основы легирования полупроводников (М., Наука, 1967).
- V.Yu. Petukhov, I.B. Khaibullin, M.M. Zaripov, E. Wieser, R. Groetzschel, H. Bartsch. Phys. St. Sol. (a), 117, 477 (1990)
- K. Seshan, J. Washburn. Rad. Eff., 37, 147 (1978)
- C.W.T. Bulle-Lieuwma, A.H. Van Ommen, L.J. van IJzendoorn. Appl. Phys. Lett., 54, 244 (1989)
- F. Namavar, N.M. Kalkhoran, J.M. Manke, L. Luo, J.T. McGinn. Proc. MRS (1992) v. 235, p. 285.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.