"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
О необычной "полосе" поглощения в инфракрасном спектре кремния, отжигающегося при высокой температуре с последующим быстрым охлаждением
Жданович Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 февраля 1996 г.
Выставление онлайн: 20 января 1997 г.

В инфракрасных спектрах поглощения полученного зонной плавкой кремния, подвергнутого циклической термообработке при 1250o C с быстрым охлаждением после каждого отжига и с частичным снятием термического окисла в каждом цикле, обнаружена необычная "полоса" поглощения с гигантской полушириной. Предложена модель, объясняющая наблюдаемые особенности спектра трансформацией в процессе термообработки нанопреципитатов примесей, содержащихся в исходном кремнии, и микроблочной структурой материала.
  1. G.D. Watkins, J.W. Corbett, R.S. McDonald. J. Appl. Phys., 53, 709 (1982)
  2. S.M. Hu. J. Appl. Phys., 51, 5945 (1980)
  3. K. Tempelhoff, F. Spigelbeig, R. Gleichmann, D. Wruck. Phys. St. Sol. (a), 56, 213 (1979)
  4. A.R. Been, R.C. Newman. J. Phys. Chem. Sol., 32, 1211 (1971)
  5. В.И. Соколов, И.Л. Шульпина, С.А. Гончаров, Н.С. Жданович. Электрон. техн. Сер. 6, Материалы, вып. 7(216), 6 (1991)
  6. T. Nozaki, Y. Yatsurugi, N.A. Kiyama, Y. Endo, Y. Makide. J. Radioanalyt. Chem., 19, 109 (1974)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.