"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Поведение примеси золота в кремнии при радиационно-термических воздействиях
Антонова И.В., Васильев А.В., Панов В.И., Шаймеев С.С.
Выставление онлайн: 20 января 1989 г.

Проведено исследование методом DLTS кремния, легированного золотом и облученного быстрыми электронами при повышенных температурах. Показано, что при облучении в температурном интервале 300-500oС происходит взаимодействие атомов золота с компонентами пары Френкеля, в результате которого концентрация электрически активной компоненты твердого раствора золота (уровень Ec-0.54 эВ) уменьшается и вводится связанный с золотом дефект с уровнем Ec-(0.30±0.02) эВ. Облучение образцов, содержащих примесные скопления из атомов золота, при температуре 500oС приводит к эффективному выходу атомов золота из скоплений в объем кристалла, что проявляется в замедлении распада электрически активной компоненты твердого раствора золота. Термообработки облученных образцов при T~=700oС позволяют полностью восстановить концентрацию электрически активного золота. Дефект с уровнем Ec-0.30 эВ исчезает при отжиге в интервале температур 650-750oС.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.