"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Определение профиля концентрации лития при его дрейфе в кремнии по емкостным измерениям
Андреев В.М., Еремин В.К., Строкан Н.В., Шокина Е.В.
Выставление онлайн: 20 октября 1988 г.

Стандартные вольтфарадные характеристики не позволяют однозначно решать задачу восстановления профиля распределения примесей в общем случае. Дополнительные условия ее решения вытекают из модели p-n-перехода. В работе из свойств процесса переноса в электрическом поле ионов лития выделены основные закономерности его распределения в n+-i (Li)-p-структуре. Показано, что они позволяют восстанавливать распределение лития в i-области по емкостным измерениям. Точность совпадения восстановленного профиля с истинным оценена путем численного моделирования процесса дрейфа. Приведены примеры обработки экспериментальных C(V)-зависимостей для различных стадий дрейфа лития в кремнии.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.