Приведены результаты исследования комбинационного рассеяния света (КРС) в монокристаллах InP с различными кристаллографическими ориентациями поверхности, подвергшихся имплантации ионами Be⁺. Изменение параметров спектров КРС свидетельствует о том, что при имплантации происходит постепенное разупорядочение приповерхностной области кристалла, приводящее к образованию слоя, состоящего из микрокристаллов.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.