"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Термическая эффузия водорода в пленках a-C : H, полученных методом плазмохимического осаждения
Абдулвагабов М.Ш.1, Байков Ю.М.1, Жданович Н.С.1, Косарев А.И.1, Цветков В.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Выставление онлайн: 20 декабря 1990 г.

Исследована термическая эффузия (ТЭ) водорода в пленках a-C : H, полученных из смеси 10% СН4+90% Ar методом плазмохимического газофазного осаждения в ВЧ разряде. Обнаружено, что ТЭ водорода в исследованных пленках имеет одну характерную температуру для "алмазоподобных" и две - для "графитоподобных" пленок. Из сравнения результатов ТЭ и ИК спектроскопии оценено содержание водорода в исследованных пленках. Из кинетики ТЭ и изменения ИК поглощения пленок в процессе отжига делаются выводы о форме связывания водорода в них.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.