"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Получение и свойства пленок низкотемпературного тетраэдрического аморфного углерода
Коньков О.И.1, Теруков Е.И.1, Трапезникова И.Н.1
1Физико-технический институт Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 октября 1995 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1996 г.

Пленки высоко-тетраэдрического аморфного углерода были получены разложением смеси метана в аргоне/водороде в плазме тлеющего разряда при температурах около 300 K. Исследовались структурные и оптические свойства. В результате были получены оптически прозрачные пленки аморфного углерода с показателем преломления 1.5/ 2.2 и полностью 2.75/ 2.80 г/см3. Концентрация оптически активных водородных атомов находилась в диапазоне 21/ 28 ат%. Отношение sp3- и sp2-связей лежало в диапазоне 0.80/ 0.85. Ширина оптической запрещенной зоны составляла 3.0/ 3.6 эВ, электронная подвижность <2 см2/В· с, удельное сопротивление 0.01/ 1016 Ом· см. В спектрах фотолюминесценции обнаружена широкая полоса с максимумом на длинах волн 487/ 493 нм и полушириной 60/ 80 нм.
  1. D.R. Mc Kenzie. Phys. Rev. Lett., 67, 773 (1991)
  2. D.R. Mc Kenzie, D. Muller, B.A. Pailthorpe, Z.H. Wang, E. Kravtchinskaia, D. Segal. Diam. Rel. Mater., 1, 51 (1991)
  3. M.A. Tamor. Appl. Phys. Lett., 58, 592 (1991)
  4. B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
  5. С.Н. Михайлов, И.Н. Трапезникова, Е.И. Теруков. В сб.: \it Тезисы Всесоюзного семинара по аморфным полупроводникам и их применениям (Л., 1991) с. 72
  6. S.V. Chernyshov, E.I. Terukov, V.A. Vassilyev, A.S. Volkov. J. Non-Cryst. Sol., 134, 218 (1991)
  7. А.А. Бабаев, М.Ш. Абдулвагабов, И.Н. Трапезникова, Е.И. Теруков. Неорг. матер., 27, 2205 (1991)
  8. О.И. Коньков, И.Н. Трапезникова, Е.И. Теруков. ФТП, 28, 1406 (1994)
  9. J.C. Angus. Diam. Rel. Mater., 1, 61 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.