"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Изменение картины муара на электронно-микроскопических изображениях As-кластеров в LT-GaAs при уменьшении их размеров
Берт Н.А.1, Чалдышев В.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 февраля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.

Проведены электронно-микроскопические исследования арсенида галлия, полученного методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой (200o C) температуре (LT-GaAs), в котором в результате отжига при 600o C происходит преципитация избыточного мышьяка. С использованием техники муара показано, что уменьшение размеров As-кластеров от 10-12 до 3 нм приводит к значительным изменениям межплоскостных расстояний в изначально гексагональной структуре мышьяка. Эти изменения не согласуются с деформационным воздействием матрицы LT-GaAs и обусловлены, по-видимому, тем, что мелкие (<3 нм) кластеры обладают кубической структурой. Перестройка атомной структуры кластеров мышьяка может иметь важные последствия для объяснения изолирующих свойств LT-GaAs.
  1. A.C. Warren, J.M. Woodall, J.L. Freeouf, M.R. Melloch, N. Otsuka. Appl. Phys. Lett., 57, 1331 (1990)
  2. Z. Liliental-Weber, K.M. Yu, J. Washburn. J. Electron. Mater., 22, 1395 (1993)
  3. Z. Liliental-Weber, A. Claverie, J. Washburn, F. Smith, R. Calawa. Appl. Phys. A, 53, 141 (1991)
  4. Н.А. Берт, А.И. Вейнгер, М.Д. Вилисова, С.И. Голощапов, И.В. Ивонин, С.В. Козырев, А.Е. Куницын, Л.Г. Лаврентьева, Д.И. Лубышев, В.В. Преображенский, Б.Р. Семягин, В.В. Третьяков, В.В. Чалдышев, М.П. Якубеня. ФТТ, 35, 2609 (1993)
  5. B.-T. Lee, E.D. Bouret, R. Gronski, L. Park. J. Appl. Phys., 65, 1030 (1989)
  6. A.G. Cullis, P.D. Augustus, D.J. Stirland. J. Appl. Phys., 51, 2556 (1980)
  7. M.R. Melloch, N. Otsuka, J.M. Woodall, A.C. Warren, J.L. Freeouf. Appl. Phys. Lett., 57, 1531 (1990)
  8. А.А. Калинин, В.Н. Кукин, С.К. Максимов, Д.И. Пискунов. ДАН СССР, 293, 350 (1987)
  9. A. Claverie, Z. Liliental-Weber. \it Proc. EMRS 1992 (Spring Meeting) p. 267
  10. J. Dobrowsky, M. Scheffler. Phys. Rev. Lett., 60, 2183 (1988)
  11. J.D. Chadi, K.J. Chang. Phys. Rev. Lett., 60, 2187 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.