"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Накопление дефектов в Si при последовательном облучении ионами аргона и азота. (Молекулярный эффект)
Аброян И.А.1, Никулина Л.М.1
1Государственный технический университет Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 февраля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.

Исследовалось накопление дефектов в Si с ориентацией (111) при бомбардировке атомарными и молекулярными ионами азота N+1 и N+2 с энергией 30 кэВ/атом. В исследуемых образцах предварительно создавались радиационнные дефекты ионами аргона. Обнаружено, что ион N+2 создает больше дефектов, чем два иона N+1. Необходимым условием этого молекулярного эффекта является предварительное введение в Si радиационных повреждений.
  1. И.А. Аброян, В.С. Беляков, А.И. Титов, А.В. Хлебалкин. \it Тр. VII межд. конф. по атомным столкновениям в твердых телах, 19--23 сентября 1977, Москва (М., Изд-во МГУ, 1980) т. 2, с. 247
  2. И.А. Аброян, Л.М. Никулина. \it Тез. докл. XXV межд. конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (М., Изд-во МГУ, 1995) с. 98
  3. А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. \it Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах (М., Энергоатомиздат, 1985)
  4. И.А. Аброян, Л.М. Никулина, А.И. Титов. ФТП, 19, 1030 (1985)
  5. J.A. Moore, G. Carter, A.W. Tinsley. Rad. Eff., 25, 49 (1975)
  6. D.A. Thompson, R.S. Walker. Nucl. Instrum. Meth., 132, 281 (1976)
  7. D.A. Thompson, R.S. Walker. Rad. Eff., 36, 91 (1978)
  8. R.S. Walker, D.A. Thompson. Rad. Eff., 37, 113 (1978)
  9. Дж.А. Дэвис. В сб.: \it Ионная имплантация и лучевая технология (Киев, Наук. думка, 1988) с. 72. [Пер. с англ. под ред. О.В. Снитко: \it Ion Implantation and Beam Processing, ed. by T.S. Williams, J.M. Poate (Academic Press, 1984)]
  10. И.А. Аброян, Л.М. Никулина. \it Матер. XII Межд. конф. "Взаимодействие ионов с поверхностью" (Звенигород, Россия, 1995) т. 2, с. 285
  11. G. Foti, G. Vitali, J.A. Davies. Rad. Eff., 32, 132 (1977)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.