"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Оптические свойства, плотность состояний и деформация атомной сетки сплавов a-SiNx: H, обогащенных кремнием
Будагян Б.Г.1, Айвазов А.А.1, Стряхилев Д.А.1
1Московский институт электронной техники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 31 июля 1995 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1996 г.

Пленки SiNx: H (x=0.0-0.72) были получены разложением смеси SiH4+ H2+NH3 в плазме тлеющего разряда. Состав пленок и концентрации химических связей в них определялись по данным ИК поглощения. Ширина запрещенной зоны и оптические константы (показатель преломления в пределе слабого поглощения и спектры поглощения для межзонных переходов) определялись по спектрам оптического пропускания. Плотность состояний хвоста валентной зоны была получена из спектров поглощения, измеренных для энергий фотонов, меньших ширины запрещенной зоны, методом постоянного фототока. Средняя энергия деформации связи Si-Si определялась по спектрам комбинационного рассеяния. Последняя величина сопоставлялась с характеристической энергией распределения состояний хвоста валентной зоны. Сделан вывод о том, что угловой беспорядок в неоднородной структуре с кластерированными связями SiH определяет плотность состояний хвоста валентной зоны, в то время как приближение однородного сплава не является корректным.
  1. J.C. Dyre. Phys. Rev. Lett., 58, 792 (1987)
  2. S. Abe, Y. Toyozawa. J. Phys. Soc. Japan., 50, 2185 (1981)
  3. E.N. Economou, N. Bacalis, M.H. Cohen. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, 101 (1987)
  4. Y. Bar-Yam, D. Adler, J.D. Joannopoulos. Phys. Rev. Lett., 57, 467 (1986)
  5. J. Singh. Phys. Rev., 23, 4156 (1981)
  6. K. Tanaka, R. Tsu. Phys. Rev., B, 24, 2038 (1981)
  7. C.K. Wong, G. Lucovsky. MRS Symp. Proc., 70, 77 (1986)
  8. N. Maley, D. Beeman, J.C. Lannin. Phys. Rev., B,38, 10611 (1988)
  9. Z. Smith, S. Aljishi, S. Wagner. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, 775 (1987)
  10. A. Morimoto et al. Sol. St. Commun., 47, 773 (1983)
  11. S. Hasegawa, M. Matuura, Y. Kurata. Appl. Phys. Lett., 58, 741 (1991)
  12. T. Shimizu, H. Kidon, A. Moramoto, M. Kumeda. Jpn. J. Appl. Phys., 28, 586 (1989)
  13. E. Bustarret. J. Non-Cryst. Sol., 114, 13 (1989)
  14. R. Meadure, A. Mezhoudi. Phil. Mag. B, 50, L63 (1984)
  15. D. Beeman, R. Tsu, M.F. Thorpe. Phys. Rev. B, 32, 874 (1984)
  16. E. Bustarret, M. Bensouda, M.C. Habrard, J.C. Bruyere, S. Poulin, S.C. Gujrathi. Phys. Rev. B, 38, 8171 (1988)
  17. R. Swanepoel. J. Phys. E: Sci. Instr., 16, 1214 (1983)
  18. Л. Лей. \it Физика гидрогенизированного аморфного кремния (М., Мир, 1988) вып. 2, с. 86
  19. M. Vanecek, A. Abraham, O. Stica, J. Stuchlik, J. Kocka. Phys. St. Sol. (a), 83, 617 (1984)
  20. A.J. Lowe, M.J. Powell, S.R. Elliot. J. Appl. Phys., 59, 1251 (1986)
  21. E. Bustarret, O. Poble, J.M. Quiroga, S. Banas, J.C. Bruyere. \it Proc. 8th Int. School on Condensed Matter Physics (1994) p. 146
  22. G.M. Samuelson, K.M. Mar. J. Electrochem. Soc., 129, 1773 (1982)
  23. T. Makino. J. Electrochem. Soc., 130, 450 (1983)
  24. J. Robertson. Appl. Phys. Lett., 59, 3425 (1991)
  25. M.B. Shubert, H.-D. Mohring, G.H. Bauer. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 275 (1991)
  26. R. Tsu, M.A. Paesler, D. Sayers. J. Non-Cryst. Sol., 114, 199 (1989)
  27. G. Lucovsky, J. Yang, S.S. Chao, J.E. Tyler, W. Czubatyi. Phys. Rev. B, 28, 3234 (1983)
  28. S. Hasegawa, L. He, Y. Amano, T. Inokuma. Phys. Rev. B, 48, 5315 (1993)
  29. J. Robertson. Phys. Mag. B, 69, 307 (1994)
  30. E. Bustarret. J. Non-Cryst. Sol., 114, 753 (1989)
  31. Б.Г. Будягян, А.А. Айвазов, Д.А. Стряхилев, В.Х. Кудоярова. ФТП, 28, 781 (1994)
  32. M. Cardona. Phys. St. Sol. (b), 188, 463 (1983)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.