Исследовано влияние условий приготовления, а именно - температуры подложки, на морфологию, спектры плотности состояний в щели подвижности, электрофизические и оптические параметры аморфного гидрогенизированного карбида кремния, полученного методом высокочастотного ионно-плазменного распыления. Выявлена взаимосвязь между отдельными параметрами спектров плотности состояний и морфологией исследуемых пленок. Установлена область ''критических'' значений варьируемого технологического параметра, при которых происходит резкое изменение электрофизических и оптических параметров материала. Причиной существования критических значений является изменение соотношения между кинетическими параметрами, определяющими характер движения комплексов на поверхности пленок в процессе их роста. Показано, что изменение условий формирования пленок приводит к изменению их морфологии и, как следствие, спектров локализованных состояний, определяющих электрофизические и оптические свойства материала.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.