"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Морфология и спектры плотности состояний пленок a-SiC : H, полученных высокочастотным распылением
Лигачев В.А.1, Свиркова Н.Н.1, Филиков В.А.1, Васильева Н.Д.1
1Московский энергетический институт (Технический университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 21 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1996 г.

Исследовано влияние условий приготовления, а именно --- температуры подложки, на морфологию, спектры плотности состояний в щели подвижности, электрофизические и оптические параметры аморфного гидрогенизированного карбида кремния, полученного методом высокочастотного ионно-плазменного распыления. Выявлена взаимосвязь между отдельными параметрами спектров плотности состояний и морфологией исследуемых пленок. Установлена область ''критических'' значений варьируемого технологического параметра, при которых происходит резкое изменение электрофизических и оптических параметров материала. Причиной существования критических значений является изменение соотношения между кинетическими параметрами, определяющими характер движения комплексов на поверхности пленок в процессе их роста. Показано, что изменение условий формирования пленок приводит к изменению их морфологии и, как следствие, спектров локализованных состояний, определяющих электрофизические и оптические свойства материала.
  1. В.А. Лигачев, В.А. Филиков. ФТП, 25, 133 (1991)
  2. В.А. Лигачев, В.Н. Гордеев, В.А. Филиков, Х. Сулеман. ФТП, 25, 1536 (1991)
  3. V.A. Ligachov. \it Proc. 35th Int. Kolloq. TH Ilmenau (Ilmenau, DDR, 1990) pt. 4, p. 56
  4. Й. Тавада. В кн.: \it Аморфные полупроводники и приборы на их основе, под ред. Й. Хамакава (М., 1986) с. 376
  5. А. Меден, М. Шо. \it Физика и применение аморфных полупроводников (М., 1991)
  6. Дж. Люковски, У. Поллард. В кн.: \it Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски (М., 1988) вып. 2, с. 448
  7. Н.Н. Свиркова, В.А. Филиков, В.А. Лигачев. ФТП, 28, 2109 (1994)
  8. M. Vanecek, A. Abraham, O. Stika, J. Stuchlik, J. Kocka. Phys. St. Sol. (a), 83, 617 (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.