"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
О возникновении кристаллитов beta-фазы в пористых слоях карбида кремния
Данишевский А.М.1, Шуман В.Б.1, Рогачев А.Ю.1, Гук Е.Г.1, Иванов П.А.1, Мальцев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 сентября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1996 г.

Методами фотолюминесцентной, а также колебательной спектроскопии (рамановское рассеяние, отражение в инфракрасной области спектра) исследованы образцы пористого SiC, полученные из одной кристаллической пленки 6H-SiC n-типа проводимости (n0=1017 см-3). Показано, что эффективная фотолюминесценция в диапазоне (2.5-2.8) эВ при межзонном возбуждении возникает на тех образцах, на которых хорошо обнаруживается нанокристаллическая фаза beta-SiC, появляющаяся на поверхности пор при определенных режимах анодного травления. Сделан вывод о связи наблюдаемой фотолюминесценции именно с возникновением указанной фазы beta-SiC. Сдвиг спектрального максимума фотолюминесценции в сторону больших энергий (по сравнению с кристаллическим политипом 3C-SiC) объясняется квантово-размерными эффектами.
  1. J.S. Shor, I. Grimberg, B.Z. Weiss, A.D. Kurtz. Appl. Phys. Lett., 62, 2836 (1993)
  2. T. Matsumoto, J. Takahashi, T. Tamaki, T. Futaki, H. Mimura, Y. Kanemitsu. Appl. Phys. Lett., 64, 226 (1994)
  3. A.O. Konstantinov, C.I. Harris, E. Yanzen. Appl. Phys. Lett., 65, 2699 (1994)
  4. J.S. Shor, L. Bemis, A.D. Kurtz, M. Macmillan, W.J. Choyke, I. Grimberg, B.Z. Weiss. In:\it Silicon Carbide and Related Materials, ed. by M.G. Spencer et al. Inst. Phys. Conf. Ser. N 137 (IOP, Bristol, 1993) p. 193
  5. А.А. Лебедев, А.А. Лебедев, Ю.В. Рудь. Письма в ЖТФ, 21, 64 (1995)
  6. A.O. Konstantinov, A. Henry, C.I. Harris, E. Yanzen. Appl. Phys. Lett., 66, 2250 (1995)
  7. А.М. Данишевский, В.Б. Шуман, А.Ю. Рогачев, П.А. Иванов. ФТП, 29, 2122 (1995)
  8. M. Ikeda, T. Mayakawa, S. Yamagiva, H. Matsunami, T. Tanaka. J. Appl. Phys., 50, 8215 (1979)
  9. В.В. Макаров. ФТТ, 13, 2357 (1971)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.