"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности ближнего и среднего порядков в пленках a-C : H, обнаруживающих фотоиндуцированный эффект
Кудоярова В.Х.1, Аверьянов В.Л.1, Чернышов А.В.1, Звонарева Т.К.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 20 января 1996 г.

Приводятся результаты детального исследования состава и структуры пленок a-C : H, в которых обнаруживается стимулированное ультрафиолетовым излучением изменение оптических свойств. Пленки a-C : H были приготовлены двумя методами: магнетронным распылением графитовой мишени в смеси газов Ar + H2 и высокочастотным разложением CH4 + Ar. Инфракрасная спектроскопия показала, что пленки характеризуются преобладающей моно- или дигидридной формой связи водорода с углеродом в зависимости от условий получения. Концентрация водорода зависела от технологических условий и изменялась от 10 до 20 ат%. Показано, что ультрафиолетовое облучение не приводит к изменению исходной концентрации водорода. Концентрация кислорода в пленках a-C : H до и после ультрафиолетового облучения определялась методом резонансных ядерных реакций. Показано, что концентрация кислорода в облученных образцах в 1.5 раза больше, чем в необлученных. Обсуждается роль кислорода в фотоструктурных превращениях.
  1. B. Dishler, A. Bubenzer, P. Koild. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
  2. J.W. Zou, K. Schmidt, K. Reichelt, B. Strizker. J. Vac. Sci. Technol., A6, 3103 (1988)
  3. B.T. Kolomiets, V.M. Lyubin. Mater. Bull., 13, 1343 (1978)
  4. S. Iida, S. Ohki. Japan J. Appl. Phys., 21, L62 (1982)
  5. В.Л. Аверьянов, Т.К. Звонарева, А.В. Чернышев, С.Г. Ястребов. ФТТ, 33, 3410 (1991)
  6. J.I.B Wilson, A. Qayyum, S. AL-Sabbagh, M. Jubber, P. John. J. Non-Cryst. Sol., 115, 84 (1989)
  7. G.M. Gusinskii, I.V. Kudryavtsev. V.Kh. Kudoyarova, O.A. Naidenov, L.A. Rassadin. Semicond. Sci. Technol., 7, 881 (1992)
  8. G. Foti, J.W. Mayer, E. Rimini. In: \it Ion Beam Handbook for Material Analysis, ed. by J.W. Mayer, E. Rimini (N.Y., Acad. Press., 1977) part 1, p. 21
  9. D.R. McKenzie, R.C. McPhedran, N. Savvides, D.J.H. Cockayne. Thin. Sol. Films, 108, 247 (1983)
  10. F.W. Smith. J. Appl. Phys., 55, 764 (1984)
  11. R.O. Dillon, A. Woollam. Phys. Rev. B, 29, 3482 (1984)
  12. F. Touinstra, J.L. Koenig. J. Chem. Phys., 53, 1126 (1970)
  13. H. Shimizu, S. Nakao, H. Kusakabe, N. Noda. J. Non-Cryst. Sol. 114, 196 (1989)
  14. J. Wagner, M. Ramsteiner, Ch. Wild, P. Koild. Phys. Rev. B, 40, 1817 (1989)
  15. J. Robertson, E.P. O'Reilly. Phys. Rev. B, 35, 2946 (1987)
  16. J. Robertson. Adv. Phys., 35, 317 (1986)
  17. J. Bullot, M.P. Schmidt. Phys. St. Sol. (b), 143, 345 (1987)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.