Механизмы геттерирования кислорода в пластинах кремния с неоднородным распределением механических напряжений
Романюк Б.Н.1, Попов В.Г.1, Литовченко В.Г.1, Мисиук А.1, Евтух А.А.1, Клюй Н.И.1, Мельник В.П.1
1Институт физики полупроводников Академии наук Украины,, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 5 марта 1994 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1994 г.
Обнаружен эффект геттерирования кислорода из объема в приповерхностную область пластин кислородосодержащего кремния, подвергнутых имплантации ионами углерода и термическим отжигам. Геттерирующие центры, вводимые имплантацией, имеют донорную активность и термостабильны до температур не менее 1320 K. Предложена и обоснована модель формирования геттерирующих центров, представляющих собой микропреципитаты SiO2, рост которых осуществляется в процессе ускоренной диффузии кислородосодержащих комплексов из объема к поверхности пластины Si в поле упругих механических напряжений, создаваемых ионной имплантацией.
- V.V. Emtsev, Yu. N. Daluda, P. Gaworzewski, K. Schmalz. Phys. St. Sol. (a), 85, 575 (1984)
- W.K. Tice, T. Y. Tan. Appl. Phys. Lett., 28, 564 (1976)
- M. Stavola, J.R. Ratel, L.C. Kimerling, P.E. Freeland. Appl. Phys. Lett., 42, 73 (1983)
- S. Tang Lee, P. Fellinger, S. Chen. J. Appl. Phys., 63, 1924 (1988)
- D. Windisch, P. Becker. Phil. Mag. A, 58, 435 (1988)
- F. Shimura. J. Appl. Phys., 59, 3251 (1986)
- Н.П. Баран, А.А. Бугай, Б.Н. Романюк. УФЖ, 35, 735 (1990)
- H. Wong, N.W. Cheung, P.K. Chu. Appl. Phys. Lett., 52, 689 (1988)
- В.В. Артамонов, М.Я. Валах, Б.Н. Романюк. ФТП, 25, 1704 (1991)
- V.I. Gavrilenko, V.G. Litovchenko, N.I. Klyui, I. Humlicek. Phys. St. Sol. (b), 155, 723 (1989)
- L.C. Kimerling, M.T. Asom, J.L. Benton, P.J. Drevinsky, C.E. Caefer. Proc. 16th Int. Conf. on Defects in Semicond. (Budapest, 1988) c. 15
- J.C. Mikkelsen. Appl. Phys. Lett., 40, 336 (1982)
- P. Deak, L.C. Snyder, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 45, 11612 (1992)
- J. Vanhellement, C. Claeys. J. Appl. Phys., 62, 3960 (1987)
- В.М. Бабич, Ю.П. Доценко, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук. ФТП, 21, 996 (1987)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук