"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Механизмы геттерирования кислорода в пластинах кремния с неоднородным распределением механических напряжений
Романюк Б.Н.1, Попов В.Г.1, Литовченко В.Г.1, Мисиук А.1, Евтух А.А.1, Клюй Н.И.1, Мельник В.П.1
1Институт физики полупроводников Академии наук Украины,, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 5 марта 1994 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1994 г.

Обнаружен эффект геттерирования кислорода из объема в приповерхностную область пластин кислородосодержащего кремния, подвергнутых имплантации ионами углерода и термическим отжигам. Геттерирующие центры, вводимые имплантацией, имеют донорную активность и термостабильны до температур не менее 1320 K. Предложена и обоснована модель формирования геттерирующих центров, представляющих собой микропреципитаты SiO2, рост которых осуществляется в процессе ускоренной диффузии кислородосодержащих комплексов из объема к поверхности пластины Si в поле упругих механических напряжений, создаваемых ионной имплантацией.
  1. V.V. Emtsev, Yu. N. Daluda, P. Gaworzewski, K. Schmalz. Phys. St. Sol. (a), 85, 575 (1984)
  2. W.K. Tice, T. Y. Tan. Appl. Phys. Lett., 28, 564 (1976)
  3. M. Stavola, J.R. Ratel, L.C. Kimerling, P.E. Freeland. Appl. Phys. Lett., 42, 73 (1983)
  4. S. Tang Lee, P. Fellinger, S. Chen. J. Appl. Phys., 63, 1924 (1988)
  5. D. Windisch, P. Becker. Phil. Mag. A, 58, 435 (1988)
  6. F. Shimura. J. Appl. Phys., 59, 3251 (1986)
  7. Н.П. Баран, А.А. Бугай, Б.Н. Романюк. УФЖ, 35, 735 (1990)
  8. H. Wong, N.W. Cheung, P.K. Chu. Appl. Phys. Lett., 52, 689 (1988)
  9. В.В. Артамонов, М.Я. Валах, Б.Н. Романюк. ФТП, 25, 1704 (1991)
  10. V.I. Gavrilenko, V.G. Litovchenko, N.I. Klyui, I. Humlicek. Phys. St. Sol. (b), 155, 723 (1989)
  11. L.C. Kimerling, M.T. Asom, J.L. Benton, P.J. Drevinsky, C.E. Caefer. Proc. 16th Int. Conf. on Defects in Semicond. (Budapest, 1988) c. 15
  12. J.C. Mikkelsen. Appl. Phys. Lett., 40, 336 (1982)
  13. P. Deak, L.C. Snyder, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 45, 11612 (1992)
  14. J. Vanhellement, C. Claeys. J. Appl. Phys., 62, 3960 (1987)
  15. В.М. Бабич, Ю.П. Доценко, К.И. Зотов, В.Б. Ковальчук. ФТП, 21, 996 (1987)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.