"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электронно-лучевая диагностика приповерхностных квантово-размерных p-n-переходов в кремнии
Андронов А.Н.1, Баграев Н.Т.1, Клячкин Е.Л.1, Робозеров С.В.1, Фараджев Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Для изучения квантово-размерных p+-n-переходов в кремнии, полученных в условиях неравновесной диффузии, использовано зондирование приповерхностной области электронами малых и средних энергий. Исследована энергетическая зависимость коэффициента радиационной проводимости в образцах, различающихся глубиной диффузионного профиля и уровнем легирования. На основании экспериментальных данных определено распределение по глубине кристалла вероятности разделения электронно-дырочных пар полем p-n-перехода. Для диодных структур, полученных при доминировании либо kick-out, либо диссоциативного вакансионного механизма примесной диффузии, обнаружен энергетический порог появления наведенного тока, свидетельствующий о том, что возбужденные вблизи границы диффузионного профиля неравновесные носители не учавствуют в создании тока во внешней цепи. Показано, что наиболее вероятной причиной этого эффекта является наличие в указанной области вторичных дефектов, ответственных за рекомбинацию возбужденных носителей и перераспределение электрического поля.
  1. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, В.Л. Суханов. Письма в ЖТФ, \bf 17, 42 (1991)
  2. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, V.L. Sukhanov. Semicond. Sci. Technol., \bf 6, 577 (1991)
  3. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, V.L. Sukhanov. Def. Diffusion Forum. \bf 103--105, 192 1993
  4. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, V.L. Sukhanov. Sol. St. Electron., \bf 34, 1149 (1991)
  5. Е.М. Вербицкая, В.К. Еремин, А.М. Маляренко, Н.Б. Строкан, В.Л. Суханов, Б. Шмидт, Дж. фон Борани. ФТП, \bf 27, 2055 (1993)
  6. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, Е.И. Чайкина. Письма в ЖЭТФ, \bf 58, 620 (1993)
  7. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, В.Л. Суханов. Письма в ФТП, \bf 25, 1613 (1991)
  8. Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, И.С. Половцев, В.Л. Суханов. Письма в ФТП, \bf 24, 1557 (1990)
  9. В.В. Макаров. ЖТФ, 48, 551 (1978)
  10. Е.Н. Пятышев, Д.В. Кузичев. Измер. техника, \bf 9, 3 (1991)
  11. А.Н. Тихонов, А.В. Гончарский и др. \it Численные методы решения некорректных задач (М., Наука, 1990)
  12. N.T. Bagraev, I.S. Polovtsev, K. Schmalz. Phys. St. Sol. (a), \bf 113, 233 (1989)
  13. N.T. Bagraev, S.N. Gorin, V.V. Vysotskaya, Yu.A. Sidorov. J. Phys. (France) III, \bf 1, 733 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.