"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электронно-лучевая диагностика приповерхностных квантово-размерных p-n-переходов в кремнии
Андронов А.Н.1, Баграев Н.Т.1, Клячкин Е.Л.1, Робозеров С.В.1, Фараджев Н.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Для изучения квантово-размерных p+-n-переходов в кремнии, полученных в условиях неравновесной диффузии, использовано зондирование приповерхностной области электронами малых и средних энергий. Исследована энергетическая зависимость коэффициента радиационной проводимости в образцах, различающихся глубиной диффузионного профиля и уровнем легирования. На основании экспериментальных данных определено распределение по глубине кристалла вероятности разделения электронно-дырочных пар полем p-n-перехода. Для диодных структур, полученных при доминировании либо kick-out, либо диссоциативного вакансионного механизма примесной диффузии, обнаружен энергетический порог появления наведенного тока, свидетельствующий о том, что возбужденные вблизи границы диффузионного профиля неравновесные носители не учавствуют в создании тока во внешней цепи. Показано, что наиболее вероятной причиной этого эффекта является наличие в указанной области вторичных дефектов, ответственных за рекомбинацию возбужденных носителей и перераспределение электрического поля.
  • Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, В.Л. Суханов. Письма в ЖТФ, \bf 17, 42 (1991)
  • N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, V.L. Sukhanov. Semicond. Sci. Technol., \bf 6, 577 (1991)
  • N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, V.L. Sukhanov. Def. Diffusion Forum. \bf 103--105, 192 1993
  • N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, V.L. Sukhanov. Sol. St. Electron., \bf 34, 1149 (1991)
  • Е.М. Вербицкая, В.К. Еремин, А.М. Маляренко, Н.Б. Строкан, В.Л. Суханов, Б. Шмидт, Дж. фон Борани. ФТП, \bf 27, 2055 (1993)
  • Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, Е.И. Чайкина. Письма в ЖЭТФ, \bf 58, 620 (1993)
  • Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, В.Л. Суханов. Письма в ФТП, \bf 25, 1613 (1991)
  • Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, И.С. Половцев, В.Л. Суханов. Письма в ФТП, \bf 24, 1557 (1990)
  • В.В. Макаров. ЖТФ, 48, 551 (1978)
  • Е.Н. Пятышев, Д.В. Кузичев. Измер. техника, \bf 9, 3 (1991)
  • А.Н. Тихонов, А.В. Гончарский и др. \it Численные методы решения некорректных задач (М., Наука, 1990)
  • N.T. Bagraev, I.S. Polovtsev, K. Schmalz. Phys. St. Sol. (a), \bf 113, 233 (1989)
  • N.T. Bagraev, S.N. Gorin, V.V. Vysotskaya, Yu.A. Sidorov. J. Phys. (France) III, \bf 1, 733 (1990)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.